中古 APSYSTEM KORONA-12SP #293610720 を販売中

APSYSTEM KORONA-12SPは、半導体ウェーハのプロセス改善に特化した高速サーマルプロセッサ（RTP）で、最高品質の半導体デバイス生産を実現します。KORONA-12SPに2つの独立して制御された部屋が、ウェーハとの接触による熱の移動の精密な温度、圧力そして均等性とそれぞれあります。APSYSTEM KORONA-12SPの中心にある特殊な暖房システムは、各チャンバーの火力を含むすべての主要な温度パラメータ、および温度とエネルギーのヘッドルームを処理することにより、正確な温度バランスを提供するように設計されています。この精密なサーマルバランスにより、プロセスの安定性が保証され、チップ収率が高く、デバイスのパフォーマンスが向上し、より一貫した高品質のデバイスが得られます。この安定した温度測定は、時間の経過とともに正確で再現性のある結果も保証します。精密なプロセス制御は、さまざまなパラメータを測定および監視できるソリッドステートセンサーを使用して管理されます。これには、各チャンバー内とウェーハ全体の両方の温度を監視する機能が含まれます。このデータはリアルタイムで収集され、熱パラメータをすばやく調整して再現可能なプロセス結果を確保するために使用できます。さらに、KORONA-12SPは25mmから200mmまでの範囲のウエハサイズに対応するように構成することができます。これは、システムの堅牢な熱伝達能力と組み合わせることで、ウェハサイズの範囲にわたって可能な限り最高の熱均一性が達成されます。APSYSTEM KORONA-12SPには、シリコン、有機材料、その他の基板を含むさまざまな材料を処理する機能もあります。KORONA-12SPは、半導体ウェーハプロセス性能向上のための精密な熱環境を提供する高度なRTPソリューションです。その精密な熱均一性と、オンボードモニタリングシステムによって提供される詳細なプロセス制御を組み合わせることで、一貫した再現性のある結果で高品質のデバイス生産を保証します。