中古 APSYSTEM KORONA-1200P #9315110 を販売中

APSYSTEM KORONA-1200P Rapid Thermal Processor （RTP）は、再現可能な高温プロセスとアニール用に特別に設計された最新の低コストの熱効率設備です。KORONA-1200P独自の特許取得済みビームシェーピングにより、従来のチューブ炉の2倍以上の熱均一性を実現します。APSYSTEM KORONA-1200P独自の3段アクティブ冷却方式により、室温1200°Cまでの様々な温度プロファイルを実現。また、温度とタイムスケールの広い範囲にわたって制御された熱エネルギーを迅速に配信することができます。チャンバーは、手動エレベーターまたはオプションのロボット搬送ユニットのいずれかを選択することで、簡単に積み下ろしできます。KORONAマシンは、再現可能な生産実行のために設計されており、ほとんどのタイプの熱処理ツールとハードウェアで使用することができます。これは、標準的なペレットフィーダービンだけでなく、生産実行またはシングルピース操作のための高強度のるつぼの選択と供給されています。KORONA-1200Pはまた、プログラム可能な安全インターロック、過電流保護、駆動保護、および低ガス圧力安全シャットダウンなどの堅牢な診断と安全機能を備えており、反復可能で信頼性の高い動作を保証します。さらに、革新的なアクティブ冷却機能により、熱均一性が向上し、収率が最大化され、TC/TWの不一致が低減されます。APSYSTEM KORONA-1200Pのクローズドループ・プロセス制御により、負荷温度を正確に制御でき、0。1°C以内までのプロセスの再現性と10％以内のプロセス再現性が得られます。さらに、このツールの「Point to Point」粗温度制御により、プロセス速度とガス効率が向上します。KORONA-1200Pは、再現性、正確性、高速性、信頼性の高い熱処理をお探しの方に最適なソリューションです。そのコンパクトな設計、効率的な熱性能と高速冷却技術は、サブミクロンの熱均一性を提供し、最高の歩留まりと最低サイクル時間を保証します。