中古 APSYSTEM KORONA-1200P #9311066 を販売中

APSYSTEM KORONA-1200Pは、半導体デバイスや材料の信頼性の高い熱処理のための高生産性製造ツールである最先端の急速熱処理プロセッサです。プロセッサは、迅速なアニーリング、拡散および酸化プロセスに優れた性能を提供します。KORONA-1200Pは改善されたプロセス結果のための部屋中の優秀な温度の均等性そして制御を提供します。赤外線ランプと熱電クーラーの急速な加熱/冷却装置を使用して、60°C/secまでの温度ランプ速度と± 2oCまでの温度調節を実現します。堅牢なプラズマ炭化水素蒸着イオン源は、高速アニール/拡散/酸化およびその他のプロセス制御を提供し、安定した高性能結果を提供します。このシステムは、プロセスガスの正確な配達のための自動ガス配送ユニットと、乾燥焼成用の統合炉を提供しています。統合されたCVD機械はきれいで、安全な操作のための窒素酸素（N2O2）および標準的な排気ガス水スクラバーを含んでいます。さらに、DC電源、VUV （Vacuum-UV photodetector）、水晶マイクロバランス（QCM）を内蔵しており、精密なプロセス制御が可能です。APSYSTEM KORONA-1200Pには、メニュー操作入力を備えたプログラマブルコントローラがあり、オペレータに依存しないプロセスパラメータの設定と起動が可能です。ユーザー調整可能なコンポーネントと、ロボット工学やプロセス監視などの柔軟なオートメーションオプションを備えたモジュラー設計を提供します。このプロセッサは、ラボや研究開発アプリケーションに理想的な学習ソリューションを提供します。高度なソフトウェアソリューションとリモートコントロール機能により、ユーザーは遠隔地からプロセスパラメータを実行、監視、管理できます。KORONA-1200Pは強力で洗練された信頼できる急速な熱処理ツールです。高品質で信頼性の高いマイクロエレクトロニクス製品を迅速かつコスト効率よく生産するための最適なソリューションです。