中古 APSYSTEM KORONA-1200P #9270852 を販売中

APSYSTEM KORONA-1200P
ID: 9270852
Rapid Thermal Processing (RTP) systems.
APSYSTEM KORONA-1200Pは、さまざまな材料や基板に高精度な熱処理を提供するように設計された急速なサーマルプロセッサです。主に半導体業界で使用されるKORONA-1200Pは、多くの小さな基板を処理するための費用対効果の高いソリューションです。APSYSTEM KORONA-1200Pは、基板全体で優れた表面均一性を作り出すことができ、一般的な加工時のホットスポットの偏差は2%未満です。これは、ガス触媒噴出源を使用して、最大1200°Cの基板を急速に加熱し、数秒で冷却します。特許取得済みの熱制御システムを使用しているため、高精度で高速加熱温度プロファイルで動作するように設計されています。KORONA-1200Pには、柔軟性と正確な制御のために設計された多くの機能があります。熱率を調整するための可変電力入力と、正確な均一性を得るために基板に正確な量の材料を供給するためのプログラム可能なガスの流れを備えています。これにより、幅広い温度範囲にわたってプロセスの一貫性を確保できます。さらに、プロセッサには絶対圧力と温度監視が装備されており、すべてのプロセスが同じ状態になるようにしています。APSYSTEM KORONA-1200Pには、ユーザーと機器を保護するための安全機能も装備されています。過熱を防ぎ、危険な温度を検出すると自動的にプロセッサをシャットダウンする熱制限システムを備えています。プロセッサには、操作中に着用する安全メガネの使用を必要とする光学インターロックもあります。KORONA-1200Pは急速な熱処理のための信頼できる解決を提供し、広い範囲の適用にとって理想的です。反復性に優れた非常に均一な表面を生成することができ、また、異なる基板やプロセスに合わせて柔軟に調整することができます。これにより、半導体加工に最適なソリューションとなります。
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