中古 APSYSTEM Korona 1200+ #9270851 を販売中

APSYSTEM Korona 1200+は、ウェーハや基板の熱処理を幅広い用途で行うために設計された急速なサーマルプロセッサです。この強力な装置は、優れたプロセス制御、高速サイクル時間、高温精度、低熱サイクル、および非常に低熱オーバーシュートを提供し、非常に反復可能な結果を生成します。このシステムは、強力な急速サーマルプロセッサチャンバー、急速熱制御ユニット、および複数の制御/センシングシステムで構成されています。急速なサーマルプロセッサチャンバーは、高真空の下で動作し、クリーンで再現性の高い熱環境を提供します。8つのホットゾーンセグメントによって加熱されたチャンバーは、窒素またはアルゴンを使用して、高い燃料効率で基板を急速に加熱して冷却します。精密温度制御ユニットは、高度な制御アルゴリズムとウェーハの周囲の温度センサーを組み合わせ、ウェーハ全体の均一な温度を維持します。オンボード制御/センシングシステムは、温度プロファイルのプログラミングと監視のためのオペレータインターフェイスを提供します。Korona 1200+のグラフィカルユーザーインターフェイスを使用して、オペレータは温度情報をリアルタイムで監視し、保存されたレシピから測定および保存された熱データにアクセスできます。リアルタイムの温度データを使用して、サーマルサイクルの精度を確認したり、非運用状態を明らかにしたりできます。APSYSTEM Korona 1200+は、多種多様な基板サイズと厚さ範囲で高精度のサーマルサイクルを提供するために、電気的に絶縁された発熱体と統合されたマイクロエレクトロニクスコントロールマシンで構築された精度です。精密な温度制御により、熱処理の際に望ましい効果が得られます。Korona 1200+は、さまざまな生産要件に迅速な熱処理機能を提供するように設計されています。高度な制御およびモニタリングシステム、優れたプロセス制御、正確な温度制御、高速サイクルタイムにより、一貫した再現性のある結果を必要とするオペレーションに人気があります。