中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage #9226027 を販売中
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販売された
ID: 9226027
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
Wafer type: SNNF
A & B Chamber type: RTP Radiance RP vantage
A & B RTP Radiance RP vantage chamber:
Process application: Core anneal RTO & ISSG
O2 Analyzer
Lamp driver, P/N: 0190-17056
MFC 1: N2 50 slm HORIBA Stec sec-z12dmn
MFC 2: O2 50 slm HORIBA Stec sec-z12dmn
MFC 3: O2 5 slm HORIBA Stec sec-z11dm
MFC 7: H2 20 slm HORIBA Stec sec-z12dm
MFC 8: H2 3 slm HORIBA Stec sec-z514mgx
MFC 11: He 30 slm HORIBA Stec sec-z12dm
MFC 12: He 50 slm HORIBA Stec sec-z12dm
MFC 13: N2 100 slm HORIBA Stec sec-z12dmn
WRLD Maglev assembly, P/N: 0190-14175
Interface options:
OHT WIP Delivery
Loadports
Enhanced 25-wafer foup
OHT Light curtain
Chamber A interface: Radiance interface panel, P/N: 0465-07030
Chamber B interface: Radiance interface panel, P/N: 0465-07031
Remote options system monitor:
Monitor 1: Flat panel with keyboard on stand, P/N: 0395-00099
Monitor 1 cable, 25 Foot
Monitor 2: Through the wall flat panel with keyboard, P/N: 0460-50048
Monitor 2 cable, 25 Foot
Umbilicals:
Chamber AC Box to heat exchange, 75 Feet
H/A, AMAT / APPLIED MATERIALS KVM to user interface with EVC, 25 FT
P/N: 0140-06462 / 0150-13813 / 0150-14109
Robot, YASKAWA BTV Darp manipulator, QS Vantage FI, P/N: 0220-39516
Reflective wafer on blade, P/N: 0220-39702
Cables, P/N: 0150-14109 / 0150-13813 / 0140-06462
(2) Facility brackets / Covers
(2) Front monitors, keyboards & bezels
Exhaust line and KF flex hoses
Gas line adapter: 90° Elbows
Options & electrical requirements:
Line voltage: 200/208 V
System safety equipment
Mainframe
Process chamber options
No heat exchange
No rough pumps
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantageは、マイクロエレクトロニクス回路の超高精度層を形成するために使用されるラピッドサーマルプロセッサ（RTP）です。このプロセッサは、幅広い温度範囲で小型基板を急速に加熱するように設計されており、プロセス全体を優れた熱制御を提供します。AMAT Vantageは、ほとんどの生産ラインのフットプリントに収まるコンパクトなフォームファクタで作られており、信頼性とタイトな熱制御を提供します。このプロセッサはカスタマイズ可能なチャンバ設計を採用しており、ハイエンドのプロセス制御と優れた再現性の両方をユーザーに提供します。アプライドマテリアルズVantageには、比類のない制御と安定性を提供する一連の機能が装備されています。RTP （Rapid Thermal Processing：急速熱処理）技術は、温度の素早く簡単な遷移を可能にするために機械に実装されています。この機能により、基板の加熱および冷却速度を正確に制御しながら、プロセス全体で均一な温度を達成できます。さらに、プロセッサは、基板温度を測定するために使用される調整可能で調整可能な赤外線（IR）センサで設計されています。この機能は、熱処理の調整に使用できるリアルタイムデータをユーザーに提供します。Vantage内の組み込み制御ループにより、基板の加熱と冷却を正確に制御することもできます。AMAT/APPLIED MATERIALS Vantageには、安全な作業環境を保証する追加の安全機能も含まれています。これらの安全機能には、耐衝撃性ポリマー材料を備えた三層安全カーテンと、空気浄化を提供する高度なデュアルフィルトレーションシステムが含まれます。さらに、プロセッサは高度なモーション処理アルゴリズムを使用して、チャンバー内の潜在的な危険性を正確に予測します。全体として、AMAT Vantageは、小型基板を急速に加熱する企業にとって理想的な選択肢です。このプロセッサは、最高レベルのプロセス制御と信頼性をユーザーに提供する革新的な機能を利用しています。さらに、APPLIED MATERIALS Vantageには、機械を使用する際に安全な作業環境を確保するための多数の安全機能が装備されています。
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