中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9398185 を販売中

AMAT （APPLIED MATERIALS） AMAT/APPLIED MATERIALIES Vantage Vulcanは、高度なチップ製造用に設計されたラピッドサーマルプロセッサ（RTP）です。幅広いデバイス技術に対応した高温処理を可能にするシングルウェーハRTP装置です。AMAT Vantage Vulcanは、さまざまなウエハサイズと基板材料に対応でき、積極的な処理アプリケーション向けに特別に設計されています。アプライドマテリアルズVantage Vulcanは、加熱されたプロセスチャンバー全体にわたって均一な温度を提供し、正確な温度制御とウェーハごとの一貫性を実現します。独自のプレイオニザリオンとポストパージシステムを備え、粒子沈着を最小限に抑え、サイクルのスループットを最大化します。Vantage Vulcanには、高度なレシピオートメーションユニットとリアルタイムデータ収集によるオンボードモニタリング（OBM）が含まれており、ユーザーはプロセスを迅速に最適化できます。バルカンの暖房機は高度なピロメーターを誇り、最大20°C/sの温度ランプ速度を実現し、利用可能な最も高速で信頼性の高いRTPシステムの1つです。また、プロセスチャンバー全体に精密な流量制御と均一な圧力を提供し、チャンバの安定性とプロセス精度を最大化する高度なガス分布ツールが含まれています。AMAT/APPLIED MATERIALTS Vantage Vulcanは、優れた安定性、熱均一性、再現性を提供し、高度なデバイス製造に最適です。簡単な設置とメンテナンスのために設計されており、クイックチェンジカセット、簡素化されたウェーハローディング、自動化されたウェーハサポートを備えています。また、超伝導プリマグネーダーと低コストのチラーユニットにより、エネルギー効率も高くなります。全体として、AMAT Vantage Vulcanは高性能で信頼性の高いラピッドサーマルプロセッサです。優れた温度の均一性、サイクルのスループット、アグレッシブな処理のための高速ランプレートを提供し、高度なデバイス製造に最適なツールです。