中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9359551 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcanは、高精度の半導体処理を可能にするように設計された急速なサーマルプロセッサ（RTP）です。このツールは、高い加熱速度と優れた均一性を誇り、優れた粒子と無粒子動作、国際基準と技術的性能基準を満たしています。それはアニーリング、活性化、および他のプロセスステップのために使用されます。AMAT Vantage Vulcanは、汚染を排除し、高品質の製品を生産するための安定した環境を提供するために、超純窒素で加圧された密閉チャンバーで構成されています。プロセスチャンバーには、望ましい温度を達成するために赤外線ランプを介して加熱されるサセプターが含まれています。これは、繰り返し可能な加熱速度と均一性を維持するために圧力コントローラと組み合わされています。例えば、2ゾーンヒーターは上下両方の温度を制御します。さらに、ガスマニホールドは、効率的な圧力制御のための正確な流量制御を提供します。アプライドマテリアルズVantage Vulcanは通常、液晶、OLED、半導体などの複雑なデバイスの製造に使用されます。このシステムは、1200°Cまでの温度を正確に制御することができ、非常に高速な加熱と冷却速度が可能です。最大のプロセス制御を可能にするソフトウェアを内蔵したリアルタイムコントローラを搭載し、さまざまな安全機能を備えています。様々な素材やウエハサイズに対応できるように構成することができます。さらに、Vantage Vulcanは、低粒子の衝撃と優れた無粒子動作を可能にする信頼性の高いシステムです。システムは30,000以上のサーマルサイクルの保証されたサイクル寿命に支えられているため、定期的なメンテナンスを必要とせずに繰り返し使用できます。AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcanは、高い精度と精度により、複雑なデバイスの製造に最適なソリューションであり、生産性と歩留まりを向上させる費用対効果の高い方法です。