中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9355344 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan rapid thermal processorは、高度な半導体技術の厳しい要求に応えるように設計された、生産グレード、自己完結型、高速サーマルプロセッサです。これは、1350°Cまでの温度で15秒以下の時間を登録することができます。バルカンは、制御環境内にRapid Thermal Processor （RTP）を収容する単一のエンクロージャで構成されています。RTPは、特許取得済みの指向性空気技術とともに、焦点を当てた熱を使用して、最大300mmのウェーハに均一で反復可能な温度プロファイルを迅速に提供します。これは、低EOM、 DRAM、 SRAM、フラッシュ、その他のメモリなど、多くの困難なプロセス要件を満たすように設計されています。バルカンは操作が簡単で、プロセス温度、ランプレート、基板移動速度など、明確に定義されたパラメータを持つ複数のプロセスレシピを実行するように設定できます。プロセスの再現性と精度は、AMAT EnGen熱処理制御ソフトウェアを通じて作成および監視されるレシピを通じて保証されます。さらに、バルカンは非常に一貫した信頼性の高いスキャンシステムを組み込み、プロセスプロファイルの詳細をさらに保証します。バルカンはサーマルサイクリング時間を短縮し、スループットを向上させ、効率を向上させます。また、充電ポンプ、ドーパント拡散、ストレージノード製造、熱酸化、低EOM処理、ポリシリコンドーピングなど、さまざまなメモリソリューションの要求を満たすための多くのプロセス機能を提供しています。バルカンはクリーンルームの統合を可能にし、ウェーハの迅速かつ効率的な入出力を可能にしますが、すべての処理はエンクロージャ内で行われます。それは長期信頼性を保障するために頑丈な材料と組み立てられます。また、封止された設計により、汚染を最小限に抑えた自己完結処理が可能になり、効率的な廃棄物と熱管理が容易になります。バルカンは信じられないほど信頼性が高く、効果的な急速熱プロセッサであり、コンパクトな設計により、今日の高度なメモリソリューションの生産に最適です。均一で反復可能な処理を提供し、また非常に費用対効果が高く、長期的な節約に役立ちます。