中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #9293645 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan
ID: 9293645
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2014
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12" 2014 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcanは、広い温度範囲内のさまざまな特定のプロセス温度で急速な温度ランプ速度を提供するように設計された急速な熱処理装置です。アプリケーションを処理するための基板を急速に加熱または冷却するために使用されます。このシステムには、加熱キャビネット、Zeus RTPコントローラ、炉モジュール、コンピュータコントローラ、ソフトウェアインターフェイスが装備されています。暖房されたキャビネットはあなたの基質に制御された暖房を提供するように設計されています。ユニークなバイパスフローユニットと均一で均等に分散した熱風のための絶縁壁を持っています。熱くするキャビネットは特定の温度の必要性を収容するために調節可能です従って質を保障します、反復可能な結果を毎回。Zeus RTPコントローラは、熱処理中に基板温度、ランプレート、圧力を正確に調整および制御するように設計されています。それに調節可能なガス圧力および高温機能、また調節可能なプロセスパラメータおよびカスタマイズ可能なメニューがあります。プロセス精度と再現性を向上させ、再現性を高め、コストを削減するように設計されています。炉モジュールはいろいろな処理変数のために調節することができる高温熱源です。それはあらゆるプロセスの信頼できる温度調整そして均一な温度を提供するように設計されています。それにまた均等性および安定性を保障する温度調整機械があります。AMATバルカンコンピュータコントローラは、RTPコントローラとZeus CPUとリアルタイムで通信し、時間、温度、圧力設定を正確に制御できます。このツールは、データ収集とストレージ機能も提供します。ソフトウェアインターフェイスにより、コンピュータからVulcanプロセスを簡単に管理および制御できます。さまざまなユーザーフレンドリーなメニューとデータ入力オプションが含まれており、オペレータのエラーを最小限に抑えるように設計されています。このソフトウェアは、データ分析、プロセスシミュレーション、およびレシピ管理を可能にし、ユーザーがより良い結果を得るためにプロセスを最適化する能力を提供します。AMAT Vantage Vulcanは、正確な温度制御と短い処理時間を必要とする急速な熱処理アプリケーションに最適なソリューションです。この資産には、信頼性の高い結果を保証するための高度な機能と機能が装備されており、熱処理を最大限に活用するのに役立ちます。
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