中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #293754435 を販売中
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ID: 293754435
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2012
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
2012 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcanは、従来の熱処理に代わる高性能で費用対効果の高いサーマルプロセッサ（RTP）です。半導体およびフラットパネルディスプレイ（FPD）アプリケーションで使用されるAMAT Vantage Vulcanは、迅速なサーマルアニーラー（RTA）とリアクティブイオンエッチング（RIE）装置を組み合わせて、現場でのプラズマエッチングおよびアニール操作を可能にします。アプライドマテリアルズVantage Vulcanは、高度な半導体やフラットパネルディスプレイ部品の製造に不可欠な高品質のフィルムおよび表面処理、ならびに急速な熱処理を実現することができます。Vantage Vulcanのスループット性能の向上により、他の従来のサーマルプロセッサと比較して生産性が向上し、処理時間を短縮できます。このシステムは高度なマルチゾーン制御で設計されており、高いレベルの熱均一性と精密熱制御を提供し、費用対効果の高い運用を維持し、優れた投資収益率を提供します。AMAT/APPLIED MATERIALTS Vantage Vulcanはまた、圧力、ガスの流れ、温度、処理時間などのマルチゾーン制御を組み込み、高精度のプラズマプロセス制御を可能にします。AMAT Vantage Vulcanは、原子層成膜（ALD）や化学蒸着（CVD）などの高度なプロセス技術にも使用できます。最新のプラズマ強化プロセスにより、熱応力を最小限に抑えた優れた膜均一性を実現し、フィルムの接着性と電気的性能を向上させます。アプライドマテリアルズVantage Vulcanは、他の機器と統合し、バッチ処理機能を提供することにより、生産性をさらに向上させることができます。速い冷却および暖房率によって、機械は高い均等性を維持しながら多数の基質を速くそして効率的に処理するのに理想的です。さらに、工具は様々な工程チャンバーで操作することができ、幅広い用途に適しています。全体として、Vantage Vulcanは、最高の生産性、最適なプロセスの均一性、およびプロセス制御を提供するように設計された高度な熱処理アセットです。このモデルは、急速な熱処理や高品質のフィルム処理を必要とするアプリケーションに特に適しています。AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcanは、低オペレーティングコストとスループット性能の向上により、半導体およびフラットパネルディスプレイ業界の大手メーカーにますます採用されています。
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