中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan #293706716 を販売中
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ID: 293706716
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2013
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
2013 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Vulcan™は、最高の熱処理精度と再現性を提供するために特別に設計された急速なサーマルプロセッサです。この先進的な装置は、多種多様な熱処理アプリケーションにおいて、高性能でコストに敏感なソリューションを保証します。AMAT Vantage Vulcanは、高度なガス管理技術と高精度のモーションコントロールの革新的な組み合わせを利用して、最高の温度の均一性と正確な温度変化率の性能を提供します。高効率で低コストの設計により、酸化、窒化、拡散、アニーリング、堆積など、さまざまな熱処理ニーズに最適です。APPLIED MATERIALTS Vantage Vulcanには洗練されたユーザーインターフェイスがあり、オペレータは熱処理のパラメータを素早く設定および調整できます。Vantage Vulcanは、複数の熱処理を同時に実行できる小さなフットプリントにより、最大限の柔軟性と汎用性を提供します。最大3つの独立した温度ゾーンを提供し、それぞれがバッチまたは連続処理モードで動作できます。AMAT/APPLIED MATERIALTS Vantage Vulcanの高度な制御システムは、ウェーハレベルの温度を正確に制御することにより、最高の精度と再現性を保証します。カスケード温度ポイントはウェーハレベルで監視され、正確なプロファイルマッチングのための厳密な温度制御を保証します。AMAT Vantage Vulcanのカスタムガスミキシングおよびデリバリーユニットは、再現可能で予測可能な堆積物を確保するために、酸素と窒素の調整されたガスの流れを使用します。また、ガスコントロールマシンは、基板への自動ガス供給を強化し、プロセスの均一性を向上させています。応用材料Vantage Vulcanは、多種多様な熱処理要件に最適なソリューションです。その高度な設計と技術により、あらゆる熱処理アプリケーションに信頼性の高いソリューションとなり、一貫した品質と再現性のある結果を得ることができます。
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