中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Radiance #9399899 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Radiance
ID: 9399899
ヴィンテージ: 2011
Rapid Thermal Processing (RTP) system 2011 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Radianceは、様々な半導体材料を加工するための半導体生産ラインで使用される高速サーマルプロセッサです。さまざまな材料を迅速に熱処理するための強力なツールであり、製造メーカーはより高いデバイス歩留まりと高品質の製品を作成し、維持することができます。AMAT Vantage Radianceは、マイクロエレクトロニクス、MEMS、その他の光電子部品の製造など、さまざまな用途に対応する大面積ウェーハおよび基板の急速な熱処理が可能です。装置は急速な温度調整および急速な生産時間の速度および正確さの独特な組合せを、提供します。このマシンは、プロセス結果の評価とフィードバック制御を自動化することもできます。APPLIED MATERIALS Vantage Radianceには、フレキシブルプロセスチャンバー、ウェーハの損傷リスクを低減する高度なウェーハハンドリングシステム、高速サセプタリフトユニット、マルチゾーンコントローラおよびヒーターなど、いくつかの機能が搭載されています。サセプタリフトマシンは、1000°Cまでの温度で、急速な熱処理を可能にします。マルチゾーンコントローラとヒーターは、温度プロファイルの制御と最適化を保証します。さらに、Vantage Radianceは精密なアライメントと並列性も備えており、工程ごとに所定の位置を追跡することができます。これにより、より一貫した正確な結果が保証され、生産ラインプロセスの再現性が保証されます。AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Radianceはさらに精度を向上させ、プロセス最適化のための計測も組み込まれています。AMAT Vantage Radianceは、印象的な速度、精度、再現性を兼ね備えた急速熱処理の画期的なツールです。既存の生産システムやプロセスに簡単に統合できるため、効率的で信頼性の高い急速熱処理ソリューションを求める半導体メーカーに最適です。
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