中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Vantage Radiance #293591364 を販売中
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ID: 293591364
ウェーハサイズ: 12"
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 12"
Process: ISSG
(2) Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Radianceは、半導体デバイスのデバイス性能を迅速かつ効率的に向上させるプロセスである、急速な熱アニーリングの最新の進歩を利用するように設計された急速なサーマルプロセッサ(RTP)です。AMAT Vantage Radianceは、現在利用可能な他のRTPを超える高温処理機能を提供します。高効率加熱と厳密に制御された熱均一性を兼ね備えており、最高温度でも優れた均一性を実現しています。APPLIED MATERIALS Vantage Radianceのモジュール設計により、実装の柔軟性を最大限に高め、プロセス設定ポイントをカスタマイズし、単一のウェハまたはクラスタ構成のいずれかを選択できます。この機器の直感的なユーザーインターフェイスには、シングルウェーハおよびマルチウェーハプロセスの両方を含む、さまざまな条件をサポートするプログラマブルパラメータを備えた、簡単にアクセスできるプログラミングシステムが含まれています。Vantage Radianceは独自のサーマルコントロールユニットを備えており、ウェハレベルの温度を正確に制御し、トランジスタやLEDなどのデバイスを最適化できます。マシンの温度コントローラは、ウェーハを設定ポイントに迅速かつ正確に持ち込むように設計されており、エネルギー消費を最小限に抑え、ターンアラウンドタイムを最小限に抑えます。プロセス時間が低いため、AMAT/APPLIED MATERIALS Vantage Radianceは、PECVDおよびALDフィルムの蒸着など、さまざまな金属化プロセスにも適しています。このツールは、生産性を最大化するために、特定のメタライゼーションプロセス用にカスタム構成することもできます。急速熱処理機能に加えて、AMAT Vantage Radianceは洗浄機能を内蔵しているため、優れた汚染耐性を提供します。アセットは、高圧洗浄、プラズマ洗浄、オゾン滅菌を使用して、プロセス開始前にモデル内の有機汚染物質を除去します。APPLIED MATERIALS Vantage Radianceはまた、プロセスが安全に完了するように、冷却システムとパージシステム、反応クエンチ機能など、多くの安全機能を提供しています。さらに、この機器はSEMI F47やISO 14644などの規格に準拠しており、運用に余分なセキュリティ層を提供します。全体として、Vantage Radianceは強力で効率的で信頼性の高い急速なサーマルプロセッサであり、優れた熱制御と優れたプロセス結果を提供します。その高度な機能と包括的な安全プロトコルにより、幅広い半導体加工ニーズに対応する貴重なツールとなります。
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