中古 AMAT / APPLIED MATERIALS RTP Chamber for Centura XE+ #293586795 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS RTP Chamber for Centura XE+は、幅広い半導体デバイス向けのウェーハの精密な処理を容易にするために設計された急速なサーマルプロセッサです。このチャンバーは、温度、時間、およびその他のパラメータを正確に制御する必要がある電気および電子アプリケーション向けの高性能ソリューションです。RTPの部屋は精密な温度の読書、精密な時間制御および容易な操作と、非常に精密、信頼できます。それはアルミ合金の標準的な暖房版、プロセスガスの広い範囲および精密なプロセス制御機能と設計されています。加熱プレートは、ウェーハの表面にわたって正確かつ均一な温度を維持するように設計されています。利用可能なプロセスガスの範囲は、酸化、アニール、およびその他の熱処理を含むさまざまなウエハプロセスを可能にします。チャンバーはまた、真空プロセスと圧力プロセスの両方をサポートするように設計されています。RTPチャンバーには、過電流保護や安全シャットオフスイッチなどの高度な安全機能も備えています。安全機能は、誤操作、短絡、過熱から保護し、正確で安全なウェーハ処理を保証します。チャンバーにはデジタル制御システムも装備されており、正確なプロセス制御と簡単な調整が可能です。また、RTPチャンバは低消費電力のために設計されており、さまざまな用途に対応するエネルギー効率の高いソリューションとなっています。このチャンバーはメンテナンス性も低く、臭気の少ない設計と最小限の洗浄が必要です。さらに、このチャンバーの設計により、ケミカルフリーの洗浄が可能になり、安全に使用でき、有害な化学物質や長い洗浄サイクルの必要性がなくなります。RTPチャンバーに加えて、AMATはウェーハ処理を成功させるための追加のアクセサリーや機器も提供しています。例えば、Centura XE+チャンバークリーニングキットは、クリーナー、カバー、乾燥システムのシステムを提供し、各使用後にチャンバーをきれいにして乾燥させることができます。これにより、適用された化学溶液が適切に除去され、汚染や欠陥が防止されます。さらに、APPLIED MATERIALSは、特定のウェーハプロセス用にチャンバーをカスタマイズするために使用できる静止型ヒーティングブロック、ステーションコントロール、およびソフトウェアも提供しています。全体的に、Centura XE+用AMAT RTPチャンバは、さまざまなアプリケーションに適した高度で正確な急速なサーマルプロセッサです。その精密な温度制御、エネルギー効率の高い設計、低消費電力、高度な安全機能により、さまざまな電子および電気アプリケーションに最適です。付加的な付属品およびプロセスガスの範囲によって、RTPの部屋はいろいろ薄いフィルムの沈殿プロセスおよび処置のためにカスタマイズすることができます。