中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Radiance #9258550 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Radiance
ID: 9258550
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2003
Sputtering system, 12" Process: IMP 2003 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Radianceは、高速サイクル半導体およびフラットパネルディスプレイ(FPD)メーカーに薄膜蒸着、酸化、ドーピングなどの重要なステップに精密な熱処理を提供するために設計されたハイエンドの急速なサーマルプロセッサです。他の熱機器よりも高いスループットで、AMAT Radiance装置は、優れた均一性と再現性を備え、最大25kWのワットで最大1200°Cの処理が可能です。2ゾーン設計により、より大きなウエハサイズと高速な処理速度を実現し、高精度の電子スキャンミラーにより、処理の均一性を実現します。APPLIED MATERIALS Radianceも非常にカスタマイズ可能で、温度、電力、サイクルタイムなどのパラメータをキャリブレーションして特定のニーズを満たすことができます。ラディエンスシステムは、他の熱機器にはないさまざまな機能をユーザーに提供します。そのデジタルスキャンキャリブレーションにより、ユーザーは比類のない垂直および水平スキャン精度で、目的のパターンに正確に焦点を合わせることができます。もう1つのユニークな特徴は、デュアルビーム電源供給ユニットであり、2つの別々のパスを介してサンプルに電力を供給し、プロセス中のより高い制御を可能にします。さらに、ガスフロー監視や赤外線安全シャッターなどの高度な安全機能により、ユーザーは常に有害な条件から保護されています。AMAT/APPLIED MATERIALSラディエンスには、大型ヒートシンクと長寿命シャッター、および機械部品により、低メンテナンス設計も含まれています。堅牢なフレームはさらに耐久性を確保し、オプションのダイナミックプロファイルコントローラはさまざまな基板に素早く適応できます。最後に、完全に自動化されたロードロックは、オペレータの利便性と生産のスループットの向上の両方を提供します。したがって、AMAT Radianceは、プロセスの精度と安全性を犠牲にすることなく、高速で正確な熱処理を必要とする半導体およびFPDユーザーに最適な選択肢です。APPLIED MATERIALS Radiance Machineは、ハイエンドの機能と信頼性を備えた完璧なサーマルソリューションです。
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