中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Radiance RTP #9026095 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS ラディエンスRTPは、高度な半導体製造に優れたデバイス性能と歩留まりを提供する急速な熱処理のための画期的なツールです。RTP独自のマイクロ波誘導プラズマ技術は、基板と直接接触することなく、無線周波数（RF）を使用してクリーンルーム・グレードの空気中でウェーハを急速に加熱して冷却することにより、エネルギー効率を最大限に高めます。AMAT Radiance RTPは、高精度で一貫性のある複数のデバイスを製造するための理想的なツールです。アプライドマテリアルズRadiance RTPは、低コミュニケーション相互接続の熱プロファイルをチューニングするための4つの熱処理オプションを提供します。これらには、低温急速熱処理（LT-RTA）、急速熱窒化（RTN）、急速熱酸化（RTO）、および急速熱処理（RTP）が含まれます。これらのオプションはそれぞれ個別に設定および制御することができ、正確な熱制御を提供します。RTPはまた、迅速なオンウェーハパターニングと不揮発性メモリデバイス形成のための機能を提供します。Radiance RTPは、精度、再現性、操作の容易さを提供する最先端のデジタルインダストリアルコントローラを備えています。これには、基板温度、時間、圧力などの主要パラメータのリアルタイムモニタとトレンドが含まれます。AMAT ControlNetソフトウェアを使用すると、履歴データへのアクセス、診断アクション、メンテナンスタスクのスケジューリングがすべて可能になります。環境性能の面では、AMAT/APPLIED MATERIALS RTPは、粒子レベルの低減、廃棄物の発生の最小化、およびゼロエミッション処理を提供します。オンウェーハプラズマソース発電機は、結晶損傷を回避し、デバイスの寿命を延ばすことができる余分なクロックレートを提供することにより、プロセスの安定性と均一性を向上させます。AMAT Radiance RTPは、高度な半導体製造とデバイス製造のための汎用性の高いツールです。急速な熱処理機能により、高精度と一貫性、汚染リスクの低さ、および最も厳しい業界基準を満たす環境性能を提供します。革新的なマイクロ波プラズマ技術と最先端のデジタルインダストリアルコントローラを備えたAPPLIED MATERIALS Radiance RTPは、高性能と高収率の製造に最適です。