中古 AMAT / APPLIED MATERIALS DPN+ Radiance #9263061 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS DPN+Radianceは、高度なプロセス制御と信頼性の高い再現可能な熱処理のために設計された急速なサーマルプロセッサです。1500°Cまでの急速な熱処理で室温と1000°C以上の間で均一な温度を適用することができます。Radiance装置には強力な対流加熱システムが搭載されており、RHT （Radiant Heat Transfer）技術とクローズドループ空気循環ユニットが組み込まれています。これにより、より高速な加熱と冷却が可能になり、短いサイクル時間と正確な温度ランプレート制御が可能になります。また、ラディエンスマシンは優れた温度均一性を提供し、低熱分散と厳密な温度制御精度を提供します。Radianceツールには、高度な監視および制御機能が装備されています。統合されたレシピ管理資産（RMS）は、単一のウェーハから数百のウェーハまでのバッチサイズの正確なプログラマブルなレシピを提供します。AMAT DPN+Radianceの高度な制御ソフトウェアは、ソフトウェアのダウンロードを通じて将来のアップグレードを可能にし、さまざまな製造環境で拡張性と柔軟性を提供します。また、最適な熱処理制御のためのリアルタイムチューニングも可能です。Radianceの装置は有効な操作および長い寿命を保障するのに堅牢な、良質材料を利用します。その背の高い、大気チャンバーは、高温ステンレス鋼から構築され、最適な絶縁材のためのセラミックおよび石英部品と並んでいます。その真空タイトな垂直スライドドアは、ウェーハの積み下ろしに容易にアクセスでき、その気流システムは、迅速かつ均一に加熱ウェーハのIR放射法と結合されています。また、RadianceユニットはオプションのデュアルHiPIMSソースを備えており、優れた温度均一性と再現性を提供します。HiPIMS技術は、アルミニウム層表面の酸化を低減しながら、温度の均一性を高めるために使用することができます。さらに、Radianceマシンには、周囲圧力制御や過熱保護などの統合された安全機能が含まれており、すべてのコンポーネントと人員の安全を確保します。APPLIED MATERIALS DPN+Radianceツールは、再現性と信頼性の高い熱処理を可能にし、幅広い製造アプリケーションで均一な結果を達成します。高度なプロセス制御機能と信頼性の高いコンポーネントにより、最適で正確な熱応答と高い生産歩留まりを実現します。