中古 ALLWIN21 AW 105R #9201878 を販売中
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ID: 9201878
ウェーハサイズ: 2"-6"
Plasma etcher, 2"-6"
Wafer loading: 3-Axis robot
Stationary cassette plate
Plasma power: 600W Air-cooled
Type: Parallel / Single wafer process
Gas lines: 1-3 Lines MFCs
Main frame with circuit breakers, solenoid valves
Keyboard, mouse, cables
Anodized reactor with door
Chamber base plate with water sensor
Upper and lower electrodes
Quartz showerhead & diffusion disk
Main control and distribution PCBs
RF Matching network with PCBs
RF Generator: 13.56MHz
Center aligner / Cassette station:
Two dimensions
Four dimensions
Base plate and ceramic ring:
Reactor
Chuck
In-line filter and solenoid isolation valve:
One MFC
Two MFCs
Three MFCs
AC/DC Box: Temperature controller
MKS Baratron: Isolation valve
Throttle valve
Main vacuum valve
Front EMO, interlocks
Touch screen GUI, 15"
Asher rate: 0.5-1.5 um/Min (200 to 250 ºC)
Bulk strip: 600 A/Min (100 ºC)
Uniformity: <±8% (Max-min)
Strip: <±5% (Max-min)
Particulate: <0.05/cm2
Selectivity: >1000:1
MTBF / MTTA / MTTR: 450 Hours / 100 Hours / 3.5 Hours / Better
Production-proven plasma asher / Descum
Uniformity: Up to 3%-5%
Frontside and backside isotropic removal
Consistent wafer-to-wafer process cycle repeatability
Element heating: Up to 250°C
Wafer capability (50mm-150mm): Up to 6.25” substrate
Thickness wafer: 50um
Options:
End-of-process (EOP)
Vacuum pump
Chiller: Chamber base plate
Applications:
GaAs, InP, GaN, SiC Wafer strip
GaAs, InP, GaN, SiC Wafer descum
Thin film head resist cleaning
Opto-electronic devices cleaning
MEMS
Photoresist stripping:
High dose implant
Rework
Post-polysilicon
Post-metal
Post-oxide
Controlled resist removal:
Post-develop descum
Uniformity capability: (<5% 1σ)
Plumbed process gases: O2, N2
Cooling water: GPM House circulating supply
Facility exhaust: 100 CFM
Power: 190-240VAC, single phase, 30A, 50/60Hz.
ALLWIN21 AW 105R Rapid Thermal Processorは、幅広い研究および産業用途に最適な精密熱処理装置です。最先端の装置は、1250°Cまでの温度で安定した性能を発揮する堅牢なグラファイト加熱ブロックと、運転中に比類のない精度と安定性を提供する超精密温調節器を使用しています。AW 105Rは、急速な加熱と冷却サイクルを可能にするように設計されており、平均時間は5分です。これにより、精度を犠牲にすることなく、あらゆるサイズの材料を効率的かつ効果的に処理することができます。ALLWIN21 AW 105Rは、8.5kWの定格電力を採用し、運転中の安全性を最大化するためにユニークな連結ドアシステムを備えています。このユニットには、直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス、真空熱学プロセス制御、および安全でクリーンなプロセス環境を確保するための風量計/湿度計が含まれています。機械は容易な維持および有効な操作のために設計されています。AW 105R Rapid Thermal Processorは、シンプルな真空ポンピングツールと独立した温度測定を備えた高品質のグラファイト加熱ブロックを備えています。完全に自動化されたコントロールパネルを使用すると、ユーザーはセットアップを最小限に抑えて素早く立ち上がり、実行できます。ALLWIN21 AW 105Rには、強力な電動ステージと、クォーツチャンバー、リフティングデバイス、複数のウェーハの高さなど、幅広いアクセサリーが装備されています。このアセットは、シリコンウェーハ、ポリマーフィルム、カーボンナノチューブアレイ、バイオセンサーなど、さまざまな材料基板と互換性があります。AW 105RはMicro-Electro Mechanical Systems (MEMS)条件での処理が可能であり、得られたサンプルの最高品質の分析を保証するためにフーリエ変換赤外線(FT-IR)アナライザが使用されています。機械全体がモジュール式で、将来のさまざまな開発に対応するように設計されています。要するに、ALLWIN21 AW 105R Rapid Thermal Processorは、完全な精度と温度制御を備えた幅広い材料を迅速に処理することを検討している人に最適な機器です。高い電力定格と使いやすい機能により、研究者は、精度を犠牲にすることなく、サンプルが必要に応じて正確に処理されることを確認できます。
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