中古 ALLWIN21 AccuThermo AW 610 #9356939 を販売中

ID: 9356939
ヴィンテージ: 2015
Rapid Thermal Processor (RTP) KOFLOC 3660 Mass Flow Controller (MFC) N2, 10 SLM ASCO 8210B020 Valve (Model 8461) AW-610-810 Main control board (P/N 2100-0900-058) THOMAS PRODUCTS 2100 Flow switch 2015 vintage.
ALLWIN21 AccuThermo AW 610は、小型から中型のダイサイズで可能な最高のスループットを提供するように設計された超高速サーマルプロセッサです。0。5 x 0。5 mm IC、 30 x 30 mmまで対応可能です。25°C/secまでの最大加熱速度と15°C/secまでの最大冷却速度を備えています。ALLWIN21 AW 610の主な利点は、スループット、精度、再現性です。その高いスループットは、特別に調整されたヒーターを使用して急速に加熱し、急速にダイを冷却する革新的な暖房コンセプトによって達成されます。これは、ダイが所望の温度に素早く到達できることを意味し、標準的なサーマルプロセッサの遅いランプ速度を待つ必要がありません。この精度は、温度を正確に測定し、安定した温度を維持できる高精度の温度コントローラによって提供されます。この再現性は、正確かつ再現可能な加熱および冷却パラメータによって達成されます。ACCUTHERMO-AW 610は、プロセッサのセットアップと操作を簡素化するグラフィカルユーザーインターフェイスを備えています。このインターフェースは、機械の簡単なプログラミングを可能にし、プロセスパラメータに関する詳細なレポートも提供します。さらに、セットアップを簡素化し、プロセッサの手間のかからない操作を可能にする標準レシピの包括的なライブラリがあります。さらに、AccuThermo AW 610には、異常な状態の場合にシステムとオペレータを保護するための多数の安全機能があります。生産性を高めるために、AW 610はAllwin 21の高性能焼結ステーション(HiPS)およびAllwin 21の処理システム(AHS)のような他のallwin用具と統合することができます。これにより、ウェーハの自動配置、移動、除去、およびPECVDおよびその他のプロセスからのウェーハの転送が可能になります。ALLWIN21 ACCUTHERMO-AW 610は、小型から中型のダイサイズに最適な急速サーマルプロセッサです。超高速加熱および冷却速度によりスループットが向上し、高精度な温度制御により、正確で再現性の高い結果が得られます。さらに、包括的なユーザーインターフェイス、レシピのライブラリ、および他のプロセスとの統合により、あらゆる生産環境における急速なサーマルプロセッサに最適です。
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