中古 AG ASSOCIATES Heatpulse 8800 #9235031 を販売中

AG ASSOCIATES Heatpulse 8800は半導体産業の研究開発のために設計された急速な熱プロセッサです。急速な熱アニーリング、急速な熱酸化、および急速な熱窒化プロセスのために開発されました。これらのプロセスはすべて、半導体の製造に使用されます。AG ASSOCIATES HEATPULSE 8800は、オイルフリーポンプと石英赤外線暖房ランプで構成された堅牢な機器です。プロセスチャンバー全体の高温均一性を特長とし、高繰り返し精度とプロセス再現性の向上を実現しています。これは、1000°Cまでの温度に達することができ、直径150 mmまでのウェーハをアニールすることができます。また、10mTorrを達成することができる2層真空装置を備えています。Heatpulse 8800に速く冷却することを促進する特別に設計されていた冷却装置があります。それは理想的なプロセスパラメータを達成するためにヒートパルスパターンを正確にそしてそれに応じて調節できる自己適応的な単位を保障します。この装置には、プロセスチャンバー内の複数の熱帯を正確に制御するためのマルチゾーン加熱機も組み込まれています。最大5つの加熱ゾーンを管理することができ、プロセス室全体で均一なアニーリングが可能です。そのユーザーフレンドリーなデザインは、直感的な制御を可能にするために使いやすいグラフィカルインターフェイスを備えています。このソフトウェアは、温度、プロセスチャンバー圧力、時間、ドウェル時間などのパラメータの詳細なグラフィカル表現を提供することができます。また、総熱時間やサイクル数などのプロセス追跡パラメータも備えています。HEATPULSE 8800は容易な維持を可能にし、世界的なサービスおよびサポートと利用できます。半導体の研究開発プロセスに欠かせない、高速で信頼性の高い正確なサーマルプロセッサです。