中古 AG ASSOCIATES Heatpulse 8800 #293622197 を販売中

ID: 293622197
ヴィンテージ: 2008
Rapid Thermal Annealing (RTA) system 2008 vintage.
AG ASSOCIATES Heatpulse 8800は、ウェーハ処理、アニーリング、スパイクアニーリング、その他の熱処理など、さまざまなプロセスで時間、温度、大気を正確に制御するために使用される強力な急速熱処理装置(RTP)です。8800は高度な制御アーキテクチャとソフトウェアを備えており、正確な温度、ガスの流れ、時間、圧力サイクルを達成するためのパラメータを正確に調整できます。8800は、高温の均一性と急速な加熱能力を兼ね備えた最先端の設計で、幅広いウエハサイズと温度に優れた精度で対応できます。8800はまた、アニール工程中に大気を制御するための統合された原子炉室を備えており、時間、温度、ガスを正確に制御することができます。8800は、統合されたウェーハローディングシステムを備えており、個々のウェーハまたはバッチの容易なロードを可能にします。また、8800はプログラマブルコンピュータを内蔵しており、さまざまなソフトウェアパッケージからRTPのパラメータを簡単にプログラミングできます。8800は、1250°C (2282°F)の高温範囲と、単一のウエハチャンバーで± 4°C (7°F)の温度均一性を備えています。アニーリングプロセスの場合、8800は5-10 Torrの圧力範囲を持ち、ステップサイクル時間は0。1-12秒です。また、ガス供給システムを内蔵しており、不活性ガスの流れを正確に制御することができます。8800は頑丈で信頼性が高く、業界で遭遇したような過酷な環境で使用されるように設計されています。また、効率的な冷却システムで設計されており、冷却とサイクルを迅速に行うことができます。全体として、AG ASSOCIATES HEATPULSE 8800は、さまざまなプロセスで正確なタイミングと温度制御を提供するように設計された強力で信頼性の高いRTPです。
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