中古 AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 #9226004 を販売中

AG ASSOCIATES Heatpulse 8108は、半導体ウェーハの研究および製造用に設計された高解像度の急速熱処理装置です。このプロセッサは、低温から1,400°Cを超えるウェーハ温度の全範囲を正確に熱特性を維持し、制御することができます。薄膜・多層プロセスでのウェーハの取り扱いや、デバイスの製造・試験に最適です。AG ASSOCIATES HEAT PULSE 8108は、熱分配、脱ガス、およびイオン注入に関連するすべての操作を迅速に実行する高速サーマルプロファイリングを備えた高度で高解像度の急速なサーマルプロセッサを備えています。高速ランピングスピードと低消費電力の発熱素子技術により、ウェハの製造は数分で実現できます。熱システムは、さまざまなプロセスを実行するための独立した正確な温度、圧力、時間、およびその他の条件を制御するための統合されたプログラマブルコントローラでさらに構成されています。さらに、このプロセッサは、温度と電流、電圧、時間、圧力など、さまざまな測定を行うことができます。この操作モードを使用すると、一連の操作を自律的に実行し、プロセスの状態をリアルタイムで監視できます。さらに、このプロセッサはオプションの高度な独自のPID制御アルゴリズムで設計されており、制御精度を向上させます。また、自動シャットダウン機能、自動圧力制御、過熱保護、H 2 O保護など、多数の安全機能を備えています。安全機能は、最適な安全性を確保し、システムの寿命を延長します。このプロセッサには、統合された真空ポート、高架ポート、および複数のI/Oポートが含まれており、外部システム、センサー、およびその他のハードウェアとの接続を可能にし、リアルタイムの監視と制御を備えています。HEATPULSE 8108は、半導体ウェーハの研究および製造に特化した包括的な高速サーマルプロセッサです。その先進的なデザインと機能により、薄膜および多層加工に最適です。Heatpulse 8108は、優れた急速熱分析、低消費電力の発熱素子技術、高度なPID制御アルゴリズム、および組み込みの安全システムにより、半導体ウェーハ製造プロセスの効率と生産性を最大化するための最適なソリューションです。