中古 AG ASSOCIATES Heatpulse 210 #293627701 を販売中

AG ASSOCIATES Heatpulse 210は、さまざまなウエハ基板に再現可能な温度制御プロセスを提供するために設計された急速熱処理装置です。このシステムは、プロセス制御を最適化するためにパルスと急速なサーマルサイクリングモードで動作し、高い均一性と優れた再現性を有する製品になります。このユニットはモジュラー構造を備えているため、さまざまなアプリケーションに簡単に構成できます。メンテナンスが簡単にできるように設計されており、迅速で簡単なセットアップと操作が可能です。基本構成では、RTP （Rapid Thermal Processor）ステーション、アニーリングステーション、8インチクォーツクォーツサセプターを備えています。デュアルリージョン構成で動作するように設計されており、複数の同時プロセスを容易にする2つの独立したプロセスチャンバーを提供します。このツールの標準機能には、正確な温度制御アセットが含まれており、オンボード組み込みコントローラによって制御され、正確な自動温度ランピング、正確な温度サンプリングと制御、および正確な熱測定などの正確なサーマルサイクル管理を提供します。さらに、このモデルには包括的なデータロギング機器が含まれており、分析およびプロセス最適化のための貴重なデータを提供します。また、Webベースのグラフィカルユーザーインターフェイスを備えており、セットアップ、キャリブレーション、制御が簡単に行えます。さらに、このユニットは、正確なポンプダウン、複数のレベルの真空ポンプ、および時間に敏感なプロセスを含む複雑なプロセスをサポートすることができます。また、単一のデューティサイクル操作から連続的で均一なバッチプロセス実行まで、複数のタイプのプロセスの製造能力を備えています。全体的に、Heatpulse 210は、正確で再現可能な温度制御と正確なプロセス最適化のために設計された強力な急速熱処理機です。モジュール設計により、特定のアプリケーションのニーズに合わせて簡単に設定できます。RTPステーションと炉ステーションの両方の特徴を組み合わせることで、精密なポンプダウン、複数のレベルの真空ポンプ、均一なバッチプロセス実行、および時間に敏感な操作など、多くの種類のプロセスをサポートすることができます。