中古 AG ASSOCIATES Heatplus 2146 #21341 を販売中
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ID: 21341
ウェーハサイズ: 4"-6"
Rapid thermal processor, 4”-6”
Oxide and nitride film deposition
Cassette to cassette handling
Temperature range: 400°C to 1300°C
Single chamber
Parts system.
AG ASSOCIATES Heatplus 2146は、高性能の半導体デバイス用途に使用される急速なサーマルプロセッサです。それは高性能の半導体プロセスに産業等級の暖房の解決を提供するために先端技術および部品から設計されます。この高度装置は性能、質、信頼性および安全の最高水準を満たすように設計されています。Heatplus 2146は、信頼性の高い温度精度と再現性を備えた急速なサーマルサイクルを提供するように設計されています。単一のチャンバーに2つまたは3つの独立した上下ゾーン要素を備えており、それぞれを独立して操作またはグループとして使用することができます。このデバイスには、構成に応じて2つまたは3つのRTD温度プローブが装備されています。内蔵のデジタルコントローラは、プロセスパラメータと操作を高度に制御します。AG ASSOCIATES Heatplus 2146の設計により、加熱および冷却時間の短縮と、設定されたポイントから別のポイントへのスムーズな遷移を提供することで、急速なサーマルサイクルレートを実現します。さらに、ステンレス鋼の構造は、ユーザーの半導体プロセスに堅牢なフレームと環境保護を提供します。構造はまた温度調整および騒音低減のための空気カーテンを含んでいます。Heatplus 2146はポータブルで使いやすいデバイスです。直感的なユーザーインターフェイスにより、ユーザーは目的のサイクルのパラメータを簡単に設定できます。これにより、複雑なプログラミングが不要になり、ユーザーフレンドリーになります。さらに、そのPLCコントローラと高度な診断機能は、高いレベルの保護を提供し、信頼性の高い動作を保証します。結論として、AG ASSOCIATES Heatplus 2146は、さまざまな産業グレードのアプリケーションに適した信頼性が高く、効率的で使いやすい急速なサーマルプロセッサです。直感的で堅牢なフレームで高度な温度精度、再現性、サイクルパラメータ制御をユーザーに提供します。このデバイスは、高性能の半導体プロセスでの使用に適しており、さまざまな業界での使用に適しています。
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