中古 AG ASSOCIATES AW-810M #9013662 を販売中

AG ASSOCIATES AW-810Mは、半導体デバイスや材料の高温処理用に設計された高速サーマルプロセッサ（RTP）です。RTPは、イオン注入、エピタキシー、乾式および湿式エッチング、拡散および急速熱アニーリング、NおよびP+イオン注入およびその他の関連プロセスの処理要件に特化して設計されています。AW-810Mは最高の均等性および反復性の精密な熱処理を提供します。RTPは、高圧、閉じたループ加熱および冷却チャンバー、熱電対制御の往復ステージ、およびRFおよびDC電源用の2つの発電機を備えています。AG ASSOCIATES AW-810Mには、統合された電気制御システムと高度なユーザーインターフェイスが搭載されており、チャンバー全体で最大1。5％の均一性を備えた正確な温度制御を提供します。AW-810Mは1150°Cまで温度を処理することを可能にする水晶管の熱範囲を利用します。ヒーターの最大出力は4。5kwで、1ミリ秒で800°Cまでのランプ温度を達成できます。均一な温度を確保するためにAG ASSOCIATES AW-810Mは、効率的で迅速なサーマルサイクルを提供する熱電冷却システムと約100°C/秒の冷却速度を利用しています。RTPには熱電対制御の往復ステージも装備されており、プロセスサイクル中の正確な温度制御が可能です。また、RF発電とDC発電の2つの発電機と、低圧での優れた温度均一性を実現する液体窒素システムをAW-810Mしています。AG ASSOCIATES AW-810Mは、大学、研究機関、産業研究所など、さまざまな研究開発環境で使用するために設計されています。RTPは半導体の加工に適しており、従来の工法に比べて大幅な処理時間短縮が可能です。AW-810Mは操作が簡単で、均一な温度とプロセス変数に対する正確な制御を提供します。付属のユーザーインターフェイスにより、RTPの操作とメンテナンスが簡単かつ効率的になり、ユーザーは短時間で均一な処理結果を得ることができます。