中古 AG ASSOCIATES AW 610T #9272710 を販売中

ID: 9272710
ウェーハサイズ: 6"
ヴィンテージ: 2012
Rapid Thermal Processors (RTP), 6" With upgraded OS windows Aluminum chamber With water cooling and gold plating Isolated Quartz tube without window oven control board Main control board bottom and top heating: 21 (1.2 kW Each) Radiation heating lamp modules (4) Bank zones: Top, front, rear, bottom Quartz tray, 3"-6" round wafer Gas line MFC Without shut-off valve Holder: 100-800°C NESLAB RTE7 Chiller LCD Monitor, 17" Mouse Standard keyboard T-Shape quartz with TC Power supply: 208 V, 60 Hz, 50 A, 3 Phase 2012 vintage.
AG ASSOCIATES AW 610T Rapid Thermal Processorは、半導体産業の高度な熱処理に必要な急速なランプ速度と高温の要件を満たすように設計されています。AW 610Tは、ダイボンディング、ダイアタッチ、拡散、酸化、リフロー、メタライズ、アニーリングなど、さまざまな製造プロセスに優れた性能を提供します。AG ASSOCIATES AW 610Tにはデュアルモードコントローラが装備されており、プロセスプロファイルまたは定常温度のいずれかをプログラムできます。この機能により、オーブンセットポイントの決定におけるユーザーの柔軟性が大幅に向上します。AW 610Tは、分散型熱素子と効果的な温度検出を利用して優れた均一性と制御を実現するために設計された、効果的なトップヒート最適化アルゴリズムを備えています。AG ASSOCIATES AW 610Tには、外部レシピと内部レシピの両方のための洗練されたウエハトラッキングプログラムも含まれています。この機能により、オーブンはプロセスパラメータを調整して、個々のウェーハのさまざまな条件に対応できます。AW 610Tには、すべてのコンポーネントの安全テストを自動的に開始および完了する高度なセルフテストおよびオートチューニングシステムが装備されています。このシステムは、安全で信頼性の高い製造環境を確保するのに役立ちます。AG ASSOCIATES AW 610Tには、正確な温度制御と最適化されたプロファイル実行を可能にするマルチゾーンモード動作も含まれています。さらに、AW 610Tにはモジュラー設計が装備されているため、組み立て、構成、メンテナンスが容易になり、オペレーティング環境で最大限の柔軟性が得られます。AG ASSOCIATES AW 610Tの最大温度範囲は1000°C (1832°F)、最大ランプ速度は1°C/Sec (1。8°F/Sec)です。AW 610TはSEMI Standard 276に準拠しており、精度や温度の均一性を犠牲にすることなく、急速な加熱と冷却を必要とするメーカーにとって費用対効果の高いソリューションです。その信頼性の高い設計と堅牢な性能により、半導体業界の多くの高度な熱処理に最適です。
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