中古 AG ASSOCIATES 4100 #9147789 を販売中

AG ASSOCIATES 4100ラピッドサーマルプロセッサは、高度な半導体製造のための強力で信頼性の高いツールです。4100は、高いスループットとバッチモードで大きなウェーハを迅速に処理する能力を提供する高度な設計を備えています。このデバイスは、酸化、アニーリング、ドーパントインプラント、窒化蒸着、および急速な熱処理などの複数のプロセスをサポートしています。このユニットには、正確なプロセス制御のためのガスパージシステムとさまざまな温度モニタリングセンサーが装備されています。AG ASSOCIATES 4100には、さまざまなプログラム可能な温度プロファイルを備えた統合されたマイクロプロセッサベースのコントローラがあります。このプロセッサは、ウェーハごとにカスタマイズされた温度プロファイルを可能にし、プロセス時間と温度を均一にすることで信頼性を向上させます。ユーザーはまた、そのような調整可能な機能をプログラムすることができます。温度の上昇率、地帯制御および許容として。このユニットには、一度に4つのウェーハを収容するための回転チャンバーも装備されています。チャンバーを回転させ、複数の加熱領域と冷却領域の間にスライドさせることで、各ウェハに均一な温度制御を提供します。これにより、均一な加熱と冷却速度が保証され、ウェーハスループットが向上します。ウェーハの取り扱い時の潜在的な汚染を低減する自動ガスパージ機能を提供します。パージガスは外部タンクに格納され、ガス流量計によって監視されます。4100は急速な熱処理の間に有効な熱放散を可能にする陶磁器の中心の設計を特色にします。ユニットには、目的の冷却速度に応じてジャケットの温度を素早く下げるためのウォーターチラーも含まれています。これにより、ウェーハの均一な冷却が保証され、動作中の温度が+/-5°Cに維持されます。AG ASSOCIATES 4100には高度なモニターと制御システムが搭載されており、温度の監視と正確な制御が容易に行えます。潜在的な問題をユーザーに警告し、安全な操作を保証するために、さまざまなアラームが含まれています。4100は汎用性の高い設計機能を備え、半導体製造に効果的で信頼性の高いツールです。