中古 AG ASSOCIATES 410 #9140495 を販売中

AG ASSOCIATES 410は、SiO2、 Si3N4、ポリマー、金属などの幅広い基板を熱処理するために設計された急速熱処理装置（RTP）です。この装置は、熱アニール、酸化、酸化アニールという1つのサイクルで次のプロセスを実行することができます。410は半導体デバイスおよびMEMSの処理の条件を満たすように設計されている信頼でき、反復可能なシステムです。AG ASSOCIATES 410は、プロセスチャンバー、コントローラ、ホットプレートマシンから構成されるバッチ型ユニットで、一度に4つの基板をサポートします。それに基質を渡る均一な温度を提供する2つのアルミ合金の版が付いている円柱水晶プロセス部屋があります。このツールは、最大動作温度が800°Cで、基板上の± 2°Cの均一性で、わずか30秒で温度に傾斜することができます。さらに、この資産には、複数の基板にわたって均一な温度制御を提供する強制ガス循環機能が装備されています。410は、高度な温度測定と制御、自動ウェーハアライメント、ロードロック操作、リモートチャンバー診断など、幅広い機能を提供する高度なモデルです。また、N2、 H2、 Ar、 O2などの様々なチャンバー雰囲気に対応し、10Torrから1000Torrまでの圧力範囲を誇っています。上記の機能に加えて、AG ASSOCIATES 410は操作の容易さおよび調節可能な変数を可能にする簡単で、直感的なユーザーインターフェイスを提供します。さらに、O2プラズマエッチングや酸化解析など、様々な解析・診断機能を備えています。さらに、オプションのMFCインターフェイスがあり、さまざまな分析機器と簡単に統合できます。全体として、410は多目的で信頼性の高い急速熱処理ユニットであり、精度、速度、再現性を兼ね備えており、幅広い半導体デバイスおよびMEMS処理アプリケーションに最適なソリューションとなっています。その高度な機能とユーザーフレンドリーなインターフェイスにより、操作とメンテナンスが簡単になります。したがって、高速で効率的なRTPツールを必要とするメーカーや研究室にとって理想的な機械です。