中古 AG ASSOCIATES 410 C23 #199775 を販売中

AG ASSOCIATES 410 C23は、ミリ秒/秒の解像度で20〜1500°Cの温度に信頼性の高い反復可能な基板加熱プロセスを提供するように設計された急速なサーマルプロセッサです。このプロセッサは、半導体加工、MEM製造、フォトニック研究などの幅広い産業プロセスに対応するように設計されています。この急速なサーマルプロセッサは、統合された温度プロファイルコントローラを備えた水平または垂直コンベアを使用するため、サンプルの均一性、均一な温度分布、および反復可能なサーマルプロセスを提供します。これにより、従来のシングルウェーハ処理（RSW）またはマルチウェーハ構成（MSW）用の複数ウェーハにプロセスを設定できます。このウェーハは、混乱やシャットダウン時間を最小限に抑えてロードおよびアンロードすることができ、キャリブレーションの改善とスループット容量の向上を伴う製造アプリケーションに適しています。410 C23には11の独立した熱帯と5つのオプションのダミーゾーンがあり、直接加熱と冷却の両方、および内熱と発熱の両方の機能を備えています。直径200mm/8インチまでのウェーハに対応できるスケーラブルなチャンバー設計を備えています。また、温度プロファイル・コントローラにより、各ゾーンに特定のシェイパー温度を設定して、最も正確で正確なサーマルサイクルを保証することができます。それに6から8KWの有効なヒーター容量および1。3KWまでの冷却容量があります。これは、直接加熱および冷却機能と組み合わせて、非常に高速なサーマルサイクル時間を確保します。真のワンステップサーマルプロセスと温度デコレーション機能により、従来の急速サーマルプロセッサと比較して、サーマルサイクル時間を70％短縮できます。AG ASSOCIATES 410 C23には、酸素および窒素ガスシステムオプションを提供する保護パッケージもあります。これは、空気汚染を低減するために働くことによって、チャンバー内の酸素/窒素雰囲気を作成するのに役立ちます。410 C23の追加機能には、迅速な診断のための自動フィールドサービスユーティリティ、強化されたシステムアクセス、およびプロセス制御のためのユーザー調整可能な安全制限設定が含まれます。このサーマルプロセッサには、リアルタイムアラーム、統合されたデータ伝送/ストレージ、プロセスチャンバーへの汚染を排除する専用冷却ファン、ミラーモニタチャンバー、オートウェーハフローグラフレコーダーも装備しています。全体として、AG ASSOCIATES 410 C23 Rapid Thermal Processorは、多数の機能を備えた非常に汎用性が高く効率的なプロセッサであり、あらゆる工業生産プロセスに最適です。