中古 AG ASSOCIATES 2146 #118008 を販売中

AG ASSOCIATES 2146は、半導体処理のために特別に設計された急速熱処理装置（RTP）です。2146には、現代の半導体製造に最適な多くの機能があります。AG ASSOCIATES 2146は非常に高速なプロセスサイクルタイムを持ち、シリコンウェーハのスループットを向上させます。システムのサイクルタイムを20秒に短縮し、1時間あたり最大800プロセスを実現します。これにより、サイクルタイムが短いより大きなバッチをインストールできます。2146は処理の間の熱プロフィールのより大きい正確さを可能にします。複数のゾーンに精密なレーザダイオード温度制御を備えており、個々のゾーンまたはカスケードされた複数のゾーンの熱壁に対する非常に正確な温度制御を可能にします。この精密制御のレベルは熱周期の結果の変動を非常に減らし、プロセスをより堅牢で均一にすることができます。AG ASSOCIATES 2146は、RTPプロセスで使用できる幅広いプロセス化学物質も提供しています。例えば、酸化、窒化、アニール、エッチングを提供することができます。これにより、任意のプロセスの要件を満たすことができ、柔軟性と効率性を最大化します。2146はまた、実際のプロセスサイクル上の温度の最適なリアルタイム制御を提供するために、精密な温度モニターが装備されています。このモニターは、熱プロファイルが正確であることを確認し、プロセスの変化に動的に反応するために使用されます。最後に、AG ASSOCIATES 2146は、ガス制御安全機能やユーザー向けの安全プロトコルなど、さまざまな安全機能を提供します。これらの機能は、プロセスが安全かつ最高水準の安全性に準拠して実行されていることを保証するのに役立ちます。2146は、最新の半導体処理に最適化されたRTPプロセスを探しているメーカーにとって理想的なシステムです。高速サイクルタイムと精密温度制御により、生産スループットを向上させ、ウェーハあたりのコストを削減するための効率的で堅牢なソリューションを提供できます。