中古 AET RX-V4 #78797 を販売中
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ID: 78797
ウェーハサイズ: 4"
Quartz Rapid Thermal Process unit, 4"
Up to 8 gases
Dry pump included.
AET RX-V4は、効率的な半導体デバイスの製造を容易にするために設計された高度な急速熱処理装置です。RX-V4は、高速高温解析、ウェーハアニーリング、成膜、高精度ダイボンディングプロセスを可能にする汎用性と信頼性の高いツールです。このシステムは、統合された垂直リフト、複数のリフトリフト構成、および統合されたウェハマッピングを備えています。AET RX-V4には、事前にプログラムされた水平アーム(Harmonizer)と高度なソフトウェア診断機能が組み込まれています。これにより、個々のプロセスパラメータの迅速な検出とマッピング、および製造環境へのユニットの簡単かつシームレスな統合を可能にする適応設計が可能になります。ハーモナイザーは、厚膜硬化・焼成、金属薄膜硬化、低温熱処理など、数多くの熱処理を行うことができます。統合された先進的な自動車技術は、最大限の安定性と稼働時間を確保し、半導体デバイス製造プロセスに最適なソリューションです。RX-V4の高度なウェハマッピング機能は、個々のプロセスステップを可視化して特定する機能を備えているため、さまざまなプロセスパラメータを迅速に診断および変更できます。ウェハマップには、時間の経過とともに個々のプロセスパラメータを監視するために使用できるいくつかの高解像度画像が含まれています。熱工程で温度プロファイルを監視するだけでなく、目視検査データを相関させることもできます。さらに、AET RX-V4はサンプル内の欠陥やその他の不整合をすばやく識別することができます。RX-V4には高効率真空機と高度なウエハ解析ツールが搭載されており、幅広い試験・実験が可能です。Vacuum Assetは、さまざまなセンサー技術を使用して、圧力と温度をリアルタイムで監視します。これにより、プロセスパラメータの迅速かつ正確な最適化と制御が保証されます。さらに、ウェーハ解析モデルでは、厚さ、組成、汚染レベルなどのウェーハの特徴を定量的に分析することができます。AET RX-V4には、簡単なナビゲーションと直感的な操作を可能にするように設計された直感的なグラフィカルユーザーインターフェイスが装備されています。これにより、さまざまな熱処理の結果を評価しやすくなります。また、高度な自己診断およびメンテナンス機能を備え、最適な操作と信頼性を確保します。全体として、RX-V4は効率的で信頼性の高い熱処理システムです。半導体デバイスを効率的に製造するための理想的なツールであり、高速、正確、正確な熱解析、ウェハアニーリング、蒸着およびダイボンディングプロセスのための直感的で包括的なプラットフォームを提供します。
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