中古 ACCRETECH / TSK ARTS-HS #9244273 を販売中

ACCRETECH/TSK ARTS-HSは、パワーモジュールやドライバICなどのパワー半導体デバイスの開発に理想的なプラットフォームとして設計された高速サーマルプロセッサです。プロセッサは急速な熱処理および電力適用技術を使用して、わずか15分で高速で正確な熱処理の結果を達成します。スループットが高く、15分で10〜15個のウェーハを処理し、さまざまなサンプルサイズに対応できます。このプロセッサは、頑丈な鋼鉄またはアルミニウムフレームに取り付けられたホットプレート装置を使用して、急速な熱処理に効果的な熱環境を提供します。ホットプレート方式は、高速セラミック発熱体を内蔵しており、ウェハの加熱を迅速かつ均一に行うことができます。ホットプレートには一連の温度センサーが組み込まれており、信頼性と正確な温度調節を保証します。ホットプレートの温度もセンサーからのフィードバックに基づいてPID温度コントローラで制御されます。TSK ARTS-HSは、様々なガス供給システムで使用することができ、急速に制御された熱処理を可能にします。これらには、ホットプレートとサンプルウェーハの間に供給されるキャリア、パージ、および反応性ガスが含まれます。このプロセッサは、酸化や窒化などのアプリケーションの外部ガス供給システムにも使用できます。このプロセッサには自動ロボットアームが装備されており、ホットプレートをサンプルウェーハに移動したり、サンプルウェーハを収納用の統合ローダーに移動したりすることができます。ロボットアームは熱処理の進行を監視するために使用できるビジョンユニットを備えており、ウェハがホットプレートと正確に整列することを保証します。ロボットアームには一連の安全インターロックが組み込まれており、ホットプレートがサンプルウェーハから離れるとプロセッサの動作を妨げます。さらに、ACCRETECH ARTS-HSにはユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェースがあり、プロセッサの操作を簡単に制御および監視できます。インターフェースはPC、タブレット、またはスマートフォンからアクセスでき、目的の結果を得るために調整できるさまざまなパラメータを備えています。全体として、ARTS-HSはパワー半導体デバイスの熱処理のための高速精度を提供する高度な急速なサーマルプロセッサです。そのホットプレートマシン、ガス供給機能、ロボットアーム、ユーザーフレンドリーなソフトウェアインターフェイスはすべて、時間を節約し、生産性を向上させる優れた性能を提供するために組み合わされています。