中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #9234274 を販売中
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ID: 9234274
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Cryokinetic cleaning system, 12"
Main body
System resource module
(2) Process modules
(3) Load ports
PC Unit
A-Box
FFU Cover
2005 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES CXは、リソグラフィープロセスの優れた性能を提供するために設計された先進的なフォトレジスト機器です。マイクロエレクトロニクス業界にとって非常に貴重なツールであり、ハイエンドの電子部品の微細加工を可能にします。FSI Antares CXシステムは、高精細リソグラフィのためのフォトレジスト材料を暴露するために協力するいくつかのコンポーネントで構成されています。ユニットの中心には、製造のための高精度パターンを生成するための責任がある発光ダイオード（LED）パターンジェネレータがあります。LEDパターンジェネレータは、ユーザー定義のデータによって駆動され、さまざまなパターンを作成できます。LEDパターンジェネレータは、フォトレジスト材料表面にイメージングライトを投影する責任があるプロジェクション光学アセンブリに接続されています。この光学アセンブリは表面に均一に光を分散させるように設計されており、異なる波長を分散させるように調整することができます。最適な収量を得るには、フォトレジスト材料をプロジェクトイメージに正確に揃える必要があります。これを実現するため、TEL Antares CXマシンは自動アライメント機能を設計に統合します。これにより、フォトレジスト材料を投影画像に自動的に整列させることができ、毎回一貫した結果が得られます。最後に、TOKYO ELECTRON ANTARES CXアセットは最高速度と効率を目指して設計されており、投影光学系はフォトレジスト素材全体を素早くスキャンしてパターンファブリケーションを高速化することができます。これは、大容量クリーンルームのモデルによって達成され、空気中の粒子の量を減らし、リソグラフィ結果の品質を向上させます。結論として、Antares CXは電子部品の優れた製造を可能にするように設計された完全なフォトレジスト機器です。イメージングライトの動的制御、オートアライメント機能、大容量クリーンルームシステムを提供し、最大限の効率を実現します。
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