中古 FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Antares CX #293652980 を販売中

ID: 293652980
ヴィンテージ: 2008
Wafer cleaning system 2008 vintage.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON ANTARES CXは、半導体製造工程での使用を想定したフォトレジスト装置です。このシステムは、イオン注入、ケミカルエッチング、スピンコーティングの原理を利用して、さまざまな材料に最高品質のフォトレジスト層を確保します。このユニットには、イオンをフォトレジスト層に埋め込み、所定のパターンを作成する精密イオンインプランターが含まれています。作成されたパターンは転送エッチングパターンと呼ばれ、フォトレジスト自体が目的のマスクレイヤーを作成するために使用されます。この保護層は、構造を作成するために材料基板の数にエッチングされます。基板へのフォトレジストの均一な分布を確保するために、マシンにスピンコートのアプリケーションが含まれています。このプロセスは、最高の精度を確保するために、高品質で温度制御された環境で行われます。FSI Antares CXは、お客様の仕様に合わせて幅広いツールアダプタを提供します。アセットにはオプションの追加機器と、その機能を拡張するためのサポートコンポーネントが備わっています。これには、高精度アンビル、高密度イオンビームシステム、および様々なアプリケーションに最高レベルの精度と制御を提供するように設計された電子ビームシステムが含まれます。スループットを向上させるために、このモデルには、フォトレジスト処理を完了するのにかかる時間を短縮し、全体的な精度を向上させるように設計された自動機能が含まれています。装置はまた複数の操作モードを含み、異なった仕事および仕事のために調節することができます。TEL Antares CXは、あらゆる半導体製造プロセスに理想的なフォトレジストシステムで、スループットの向上と品質の向上に加え、一貫した信頼性の高い結果を提供します。単位設計はまた個々のユーザーの条件のためにカスタマイズ可能です。
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