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OXFORD Plasmalab 100 Plus #293731086

OXFORD

Plasmalab 100 Plus

Reactive Ion Etcher (RIE), 3"-4" Process: CHF3 and SF6 (6) MFC gases: SiCl4, SF6, Cl2, Ar, O2, N2 Lo
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OXFORD Plasmalab 100 Plus #9274966

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Reactive Ion Etcher (RIE) system, 8".
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PECVD System, 6" 1996 vintage.
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