中古 DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEW #9132891 を販売中

DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEW
ID: 9132891
ヴィンテージ: 1998
Wafer Size, 1998 vintage.
DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEW(ダンタクマテクノロジーズ)は、半導体製造分野での応用に特化したロボットウエハ加工装置です。ODC-1402BEWは、最先端のロボットアームを使用して、さまざまなプロセス段階の間でウェーハを処理および転送します。このシステムには、最大150個のウェーハを保持できる標準的なウェーハホールディングマガジンが含まれています。DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEWは、6軸の独自のロボットアームを使用して、プロセス段階を通じてウェーハを正確に操作します。このロボットアームは、高度なビジョンユニットに結合されており、ウェーハの位置を正確に決定し、正確で再現性のある処理を保証するために使用されます。高度なモーションコントロールマシンは、ウェーハの回転、正確な位置決め、奇妙な、壊れた、小さなウェーハサイズの選択的な処理などの高度な操作を実行することができます。ODC-1402BEWは、スパッタ成膜、エッチングクリーニング、フォトレジストコーティングなど、幅広いプロセスを実行することができます。各ステップは、ユーザーフレンドリーな制御ソフトウェアでプロセス時間、厚さ、温度などのパラメータを個別に決定して操作できます。このツールは、スループットを最大化し、高い歩留まりと優れた品質の製品を生み出すように設計されています。DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEWは、アセットを特定のアプリケーションにカスタマイズするためのさまざまなアクセサリを装備することもできます。これらには、リモートプラズマ源、統合パージングおよびベントモデル、ハードベーク用冷却装置が含まれます。ODC-1402BEWは産業等級のアルミニウムおよびステンレス鋼のフレームワークを使用して組み立てられ、半導体のクリーンルームの環境で作動するために評価されます。既存の本番システムに簡単に統合できるように設計されており、工場からさまざまな構成オプションと、要求によって利用可能なカスタム構成が用意されています。DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEWは、DAN-TAKUMA TECHNOLOGIESの優れたカスタマーサービスとテクニカルサポートチームによって支えられており、お客様の投資が引き続き堅調に推移します。ODC-1402BEWは、高度でありながら費用対効果の高いロボットウェーハ処理システムであり、優れたスループットレートで高品質の製品を生産することができます。
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