中古 RUDOLPH WV 320 #9373222 を販売中

RUDOLPH WV 320マスクおよびウェーハ検査装置は、ウェーハおよび半導体マスクの高速かつ正確な測定用に設計された検査ソリューションです。このシステムはopto-mechanicalアセンブリ、カメラ、ソフトウェアで構成されており、信頼性が高く、再現性があり、自動化された測定をユーザーに提供します。このユニットは、2次元グリッドスキャンでウェーハとマスクを測定することができ、電動ステージで最大50ミクロンまでウェーハとマスクを動かすことができます。超高解像度CCDカメラを搭載し、高精度な計測を実現しています。これは、ユーザーが3。2mmから63mmにカメラを移動することができます調整可能な視野を持っています。カメラは、1次元、2次元、および関心のあるスキャン領域などの複数の画像取得モードをサポートしています。ソフトウェアスイートは、測定プロセスを管理するさまざまな機能をユーザーに提供します。ソフトウェアスイートには、ウェーハデータモデルエディタ、データ収集モジュール、計測モジュール、オートメーションモジュールが含まれています。3x3グリッドスキャン、リニアスキャン、ラインバイラインスキャンなど、目的のバリエーションでデータを取得できます。データ収集モジュールにより、フォトマスク、ウェーハ、CAD図面、スペクトルなど、さまざまなソースからデータをインポートできます。計測モジュールは使いやすいユーザーインターフェイスと歩留まり解析を提供します。オートメイトモジュールを使用すると、3Dグリッドスキャン、空間スキャン、欠陥検出などの反復測定のための測定プロセスをプログラムおよび自動化できます。RUDOLPH WV320マスクおよびウェーハ検査ツールは、半導体マスクおよびウェーハ用の強力で信頼性の高い検査ソリューションです。このアセットは、超高解像度CCDカメラと高度な計測ソフトウェアを使用して、精密かつ再現性の高い測定を提供します。このモデルは、リアルタイムのユーザーフィードバックと自動データ取得で複雑な検査プロジェクトを処理するために十分に装備されています。この装置は高速で正確で信頼性が高く、ユーザーに半導体マスクとウェーハを検査および検証するための効果的なツールを提供します。