中古 RUDOLPH WV 320 #9355359 を販売中

RUDOLPH WV 320
ID: 9355359
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2005
Macro inspection system, 12" 2005 vintage.
RUDOLPH WV 320は、ウェーハおよびマスクの自動品質スキャンおよび検査用に設計された「マスク&ウェーハ検査」装置です。RUDOLPH WV320は、高度な光学ユニットと統合解析ソフトウェアを組み込んだフル機能の検査システムです。サブミクロンから1mm以上のサイズまでの欠陥を検出することができ、マスクの検査からウェーハ検査まで幅広い用途に対応できるように設計されています。近赤外領域の波長で高解像度の画像処理が可能です。カメラ高度なCCD画像処理チップは、1秒未満で画像をキャプチャすることができます。全自動ツールを使用して、広い視野でマスクとウェーハの機能を検出して差別化することができ、スループット時間が長くなり、検査全体のコストを削減できます。WV 320はインタラクティブなユーザーエクスペリエンスを提供し、ユーザーは特定された欠陥をズームインし、検査する必要がある画像のパラメータを変更し、後でレビューするために画像を保存することができます。アセットは、ウェーハへのマスクの迅速かつ正確なアライメントも可能であり、アライメントプロセスにおける不要な時間や手作業を最小限に抑えます。WV320はまた、スキャン電子顕微鏡(SEM)やX線検査などの他の検査システムと統合することができ、包括的な欠陥識別を可能にします。このモデルには、自動欠陥レビューのコントロールがあり、ユーザーは疑わしい欠陥をすばやく特定して分離することができ、誤検出の数を減らすことができます。さらに、RUDOLPH WV 320には「Data Capture Toolbox」が搭載されており、検査結果を把握するための分析と比較機能を提供します。直感的なインターフェイスと使いやすいソフトウェアにより、ウェーハおよびマスク検査のプロセスで情報に基づいた意思決定を行うための優れたプラットフォームを提供します。全体として、RUDOLPH WV320は、ウェーハやマスクの自動品質スキャンおよび検査に効果的かつ効率的な装置です。堅牢な一連の機能を備えているため、高品質な結果を提供する必要がある生産環境に最適なソリューションです。
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