中古 RUDOLPH WV 320 #9248814 を販売中

RUDOLPH WV 320は、高度なマスクおよびウェーハ検査装置であり、マスクおよびウェーハの検査に高精度で高解像度の3D画像を提供します。先進的な光学系やマクロ・マイクロイメージング素子を搭載し、多様なマスクやウェーハ形状を検査することができます。システムの高度な光学ユニットには、自動ズームメカニズムと偏光フィルタが含まれており、完全に調整可能であり、微妙な欠陥を検出してサブミクロン粒子や回路形状を調べるために使用することができます。その洗練された3Dイメージングマシンは、最大17mmのサイズの検査領域から高解像度の結果をキャプチャします。RUDOLPH WV320は、強力な画像処理および解析機能により、最大10nmの精度で、マイクロピンホール、傷、異物などの微妙な欠陥を検出および測定できます。ウエハアライメント機能を内蔵し、複数のウエハセクションを同時に検査する際にサンプルを正確にアライメントすることもできます。さらに、WV320には、効率的で高速なマスク検査を可能にするいくつかの高度な機能もあります。業界標準のほとんどのCADシステムと互換性があり、大規模なマスクや複雑な構造を検査するために、ラインスキャンから高精度の3Dモデルを生成できます。このツールには、1秒間に256個の非接触レーザースキャンを生成できるiScanレーザアセットを装備することができ、ハイスループットの3Dスキャンとイメージングを可能にします。さらに、このモデルのDynamic Image Tracking Equipment （DITS）は、マスク検査中にフォーカスと露出設定を調整し、一定の画質を維持することができます。マスクとウエハ検査を組み合わせたシステムWV320、優れた性能、信頼性、精度を提供します。これにより、最大3Cの測定、より良いプロセス制御、および歩留まりと品質を向上させるための包括的な分析がユーザーに提供されます。マスクやウェーハ検査の精度と再現性を求めるお客様に最適です。