中古 RUDOLPH SWS #9378745 を販売中

RUDOLPH SWSは、RUDOLPH Technologies、 Inc。の最先端のマスク&ウエハ検査システムです。このシステムは、半導体ファブで使用されるように設計されており、マスクとウェーハ検査の困難な作業に自動化されたソリューションを提供します。SWSは、洗練された照明と光学系と高度なソフトウェアアルゴリズムを組み合わせて、製造工程で発生する可能性のあるウェーハやマスクの欠陥を検出します。マスク・ウエハ検査の第1段階は、ロボットアームを用いてウェハ表面上にカメラを素早く正確に配置し、同時に表面とマスクの間の反射、表面地形、結合エネルギーなどのデータを収集するウェハスキャンです。このウェーハの初期スキャンは、表面の潜在的な欠陥を検出するために使用できる詳細なマップを生成します。マスク&ウエハ検査プロセスの第2段階は、マスク自体の欠陥または不規則性をチェックします。マスクはテーブルの上にフェイスダウンされ、特殊なカメラが画像をスキャンして異常を検出します。これは反射光と顕微鏡の混合物で行われ、最も細かい欠陥が検出されるようにします。マスク&ウエハ検査プロセスの第3段階では、マスクと実際のウエハの比較が行われます。RUDOLPH SWSは、洗練されたソフトウェアアルゴリズムを使用して、2つの画像を比較し、マスクの外観と実際のウエハの外観との間の相違を検出します。相違があれば、SWSは欠陥を強調し、注意を払う必要がある人間検査官に通知することができます。最後に、マスク&ウェーハ検査の第4段階は、結果のレビューを伴います。RUDOLPH SWSでは、マスクおよびウェーハ検査プロセスの詳細な3Dレポートを生成し、特定された問題の詳細な概要を提供します。これは、人間の検査官が対処する必要のある問題をすばやく特定するのに役立ち、製造プロセスに関する洞察を得て、歩留まりを改善するのに役立ちます。SWSは、半導体ファブがマスク&ウエハ検査プロセスを自動化し、手動検査に比べてはるかに高い精度でウェハ全体の概要を把握できる印象的なシステムです。これは、製造工程の最適化と歩留まりの改善のための卓越した機会を提供します。