中古 RUDOLPH NSX 115D1 #9260012 を販売中

RUDOLPH NSX 115D1は、正確で信頼性の高いフォトマスク/レチクルアライメントと精度を提供するように設計されたハイテクなマスクおよびウェハ検査装置です。このシステムには、マスクまたはウェーハ操作用の2つの独立して駆動されるXYステージが含まれており、高速アライメント、異なる倍率のさまざまなレンズオプション、高精度の角度測定と集中、および検査プロセスの最高精度を保証する他の機能が含まれます。NSX 115D1は、様々なマスクやウェーハを高速かつ高精度に検査することができます。X軸とY軸の2つの運動軸を備え、最大600mm × 800mmのダイナミックイメージキャプチャレンジを提供します。集積回路製造プロセスで使用される様々なフォトマスクやレチクルの正確な位置決めと高精度アライメントを提供することができます。2つのモーションアックスに加えて、RUDOLPH NSX 115D1は、1/3Xから16Xまで、さまざまな倍率のレンズオプションを提供しています。これにより、ユーザーは最高レベルの精度を維持しながら、高い倍率でウェーハやマスクを検査する柔軟性を提供します。このツールは、1度までの角度偏差を測定することもでき、検査されたマスクまたはウェーハのより正確なアライメントを保証します。NSX 115D1は、最高の精度と信頼性を確保するために、オートフォーカスおよびポスト測定機能を備えています。オートフォーカス機能は、空気圧アセットを使用して最適な画像ビューを自動的に取得します。これにより、マスクとウェーハ間の最適な位置合わせが安定して正確に決定されます。一方、測定後の機能は、レビューや将来の参照のために保存してアクセスできるマルチパラメータレポートを提供します。最後に、RUDOLPH NSX 115D1には、操作の容易さをユーザーに提供する追加機能が含まれています。その3次元タッチスクリーンディスプレイは、シンプルなナビゲーションのための説明的で直感的なユーザーインターフェイスを提供します。このモデルはまた、NSX機器を操作して効率的にトラブルシューティングするための知識をユーザーに提供する、オンサイトコースとオンラインコースの両方からなる包括的なトレーニングプログラムを提供します。全体として、NSX 115D1マスクおよびウェーハ検査システムは、高精度で信頼性の高いフォトマスク/レチクルアライメントと精度のための理想的なソリューションであり、ユーザーにマスクとウェーハを検査および整列させる簡単で効果的な方法を提供します。