中古 RUDOLPH NSX 105 #9412393 を販売中

RUDOLPH NSX 105
ID: 9412393
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2008
Inspection system, 8", parts machine 2008 vintage.
RUDOLPH NSX 105は、高性能と信頼性を提供するように設計されたマスク&ウェーハ検査装置です。RUDOLPH NSX-105は、フォトマスクやウェーハ材料に関連する欠陥だけでなく、ラインやスペースパターンの欠陥を迅速に検出するように設計されています。NSX 105は、2つのワイドフィールド対物レンズと2つのテレセントリックイメージングレンズからなる強力な光学構成を使用しています。このシステムは、機械の動きと焦点を調整するAngenieuxズームオプティクスユニットを備えており、機械の正確な光学フォーカスを可能にします。NSX-105はまた、欠陥を検出する際の感度を向上させるためのダークフィールドアレイ照明ツールと、広範囲の倍率にわたって一貫して正確に焦点を合わせることを保証するテレセントリック構成を誇っています。RUDOLPH NSX 105には、ユーザーフレンドリーで直感的な高解像度カラータッチスクリーンが装備されています。この使いやすいインターフェースにより、欠陥サイズやタイプなどの検査プロセスのパラメータを素早く設定することができます。この資産はまた、チップの広い領域を便利に検査するための広い視野を誇っています。RUDOLPH NSX-105は、ウェーハやマスクの欠陥を素早く検出してフレーム化するために、さまざまな高解像度センサーと照明技術を使用しています。多目的な検出モードはこのモデルを欠陥のあらゆるクラスを検出できるようにします;粒子、レンズエッジ回折、ブリッジ、マーリング、気孔率、エッチングなど。さらに、NSX 105は「、フルフィールド」スキャンと呼ばれる機能である平坦面の急速な並列検査100%も可能です。NSX-105はまた、検出されたすべての欠陥の完全な記録を維持する包括的なリプレイ分析パッケージを提供しています。これにより、時間の経過とともに欠陥を効率的かつ正確に追跡することができ、ウェーハ上の欠陥の特定を支援します。RUDOLPH NSX 105は間違いなく市場で入手可能な最も信頼性の高いマスク&ウェーハ検査システムの1つです。高解像度センサーと照明技術を備えたすべてのクラスの欠陥の優れた検出を提供し、ユーザーフレンドリーなタッチスクリーンインターフェイスと広い視野を備えています。これにより、RUDOLPH NSX-105フォトマスクおよびウェーハ材料の迅速かつ信頼性の高い検査を必要とするさまざまなアプリケーションに最適です。
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