中古 RUDOLPH NSX 105 #9373061 を販売中
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ID: 9373061
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2008
Macro defect inspection system, 8", parts machine
2008 vintage.
RUDOLPH NSX 105は、生産用途向けに設計された高精度マスクおよびウェーハ検査装置です。複数の光学技術を統合した自動検査システムで、正確なウェーハとマスクのアライメントと欠陥の検出のための包括的なソリューションを作成します。このユニットは、使いやすいユーザーインターフェイスを使用して、検査パラメータを設定し、パフォーマンス手順を検証します。ウェーハとマスクアライメントの両方に使用されるオンボード顕微鏡を備えた完全自動校正ルーチンを備えています。統合ビジョンマシンは、ウェーハとマスクの視覚的および定量的な検査を行います。このツールは高速動作が可能で、同時に最大4つのウエハを検査することができます。このアセットは、UV波長の高度なスペクトルイメージングと欠陥検出機能を備えており、非常に小さな欠陥を検出することができます。また、生産中に発生するピンホール、傷、汚れ、表面汚染などの微妙な欠陥を検出することができます。さらに、このモデルは、コントラストと欠陥検出を強化するために、明るいフィールドと暗いフィールドのイメージング技術を利用しています。RUDOLPH NSX-105には、パターンマッチング、スレッドカバレッジ、画像セグメンテーションなど、微妙な欠陥を検出するために使用できるいくつかの画像認識ツールも含まれています。装置は異なった光学部品によって異なった点検仕事のためにそれを最適化するために形成することができます。さらに、システムは直感的なオペレータインターフェイスで設計されており、簡単な操作とメンテナンスが可能です。NSX 105は、高精度と高速性を提供する汎用性の高いマスクおよびウェーハ検査ユニットです。これは、幅広い欠陥タイプを迅速かつ正確に検出する必要がある高精度アプリケーションに最適なソリューションです。このマシンは信頼性が高く、最も要求の厳しい生産環境に対応できるように設計されています。
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