中古 RUDOLPH AXI-935D #9385106 を販売中

RUDOLPH AXI-935Dは、半導体産業のために設計された最先端のマスク&ウェーハ検査装置です。マスクやウェーハの欠陥の検出・解析に役立つ総合システムです。このユニットは、レンズシステム、レーザー干渉顕微鏡、および高解像度画像のキャプチャと分析に役立つ他の光学機器などのさまざまなコンポーネントで構成されています。機械には、機械的またはモーター制御のフィードを介してマスクまたはウェーハを動かすことができる精密モーションステージが装備されています。また、360度の画像処理のためにオブジェクトを回転させることができるステージも装備しています。このツールは、従来の2Dイメージングと高度な3Dイメージングの両方をサポートするように設計されています。全内反射、エピイルミネーション、暗視野、斜視など幅広い画像取得方法が可能で、10nm解像度での画像取得が可能です。RUDOLPH AXI 935Dのサブシステムは、欠陥を分析し、以前に取得した「ゴールデンイメージ」と比較して、影響を受けた地域を特定するように設計されています。サイズ0。2ミクロンまでの欠陥を検出し、サイズ、アスペクト比、コントラスト、強度などの欠陥に関する正確で信頼性の高い情報を提供できます。AXI 935 Dには、画像データを分析し、重要な欠陥パラメータを抽出するための包括的な画像処理ツールも含まれています。これらのツールは、欠陥を特定し、背景の制限からそれらを分離するのに役立ちます。また、プロセス欠陥の特定、歩留まり損失の特定、プロセス障害の原因となる重要な欠陥の特定にも使用できます。さらに、高度な欠陥フィルタリング、欠陥分類、高度なパターン認識などの機能を追加することで、特定のアプリケーション要件に合わせてアセットをカスタマイズできます。このモデルはモジュール式で、高倍率レンズや交換可能な光学系などの追加部品で簡単にアップグレードできます。要するに、AXI-935Dはマスクおよびウェーハの点検の最高の正確さそして生産性を保証するように設計されている信頼でき、多目的なマスク及びウェーハの点検装置です。高度に構成可能で、容易にアップグレード可能であり、詳細かつ正確な欠陥解析を提供することができます。