中古 KLA / TENCOR STARlight SL3 URSA #9067571 を販売中

KLA/TENCOR STARlight SL3 URSA Mask&Wafer Inspection Equipmentは、半導体装置メーカーのKLAが製造した超解像画像および分析システムです。ウェーハ、マスク、その他の半導体部品の信頼性、精度、高解像度の検査・分析用に設計されています。KLA STARlight SL3 URSAは、以前のSTARlightプラットフォームの強化版であり、光学性能が向上しています。光学機は最大0。6ミクロンの分解能を提供し、広い領域でサブアングストロームの表面高さ測定を可能にします。また、コントラストを改善し、ノイズを低減するための高輝度の均一な照明を提供する最先端の照明ツールを備えています。このアセットは、統合されたモジュラーヘッドを備えています。これにより、お客様の要件に基づいて複数の構成と柔軟な設定が可能になります。このモジュラーヘッドには、ユーザー指向のインターフェイスを備えた高度なリアルタイムイントラスペクションモデルも含まれています。ウェーハやマスクの幅広い欠陥を測定することができ、さまざまな角度から画像を見ることができます。システムの統合解析ソフトウェアは、ユーザーフレンドリーで使いやすいです。いわゆる「逆印刷」機能など、さまざまな構造やマスクを分析することができます。このソフトウェアでは、一般的なデータベースからProfilometryやMultilayer検査などのマルチマテリアルイメージングシステムを分析することもできます。TENCOR STARlight SL3 URSAには強力な顕微鏡ユニットも付属しています。0。2ミクロンの解像度を持つ高出力対物レンズを搭載しており、マスク層インターフェースや不規則性の検査に適しています。マスク検査機は、粒子の汚染、掘削、残留物などの欠陥を検出することも可能です。STARlight SL3 URSAは、セットアップと操作が簡単なコンパクトなツールです。堅牢な機械設計と、信頼性の高い操作のための振動のないプラットフォームを備えています。また、オートフォーカス機能、プログラム可能なスキャン、複数のパラメーター調整など、さまざまな高度なオートメーションツールが付属しています。KLA/TENCOR STARlight SL3 URSAは、半導体業界にとって効率的で費用対効果の高いウェーハおよびマスク検査資産です。その優れた光学性能と強力なソフトウェアは、高精度の検査に最適です。それは信頼でき、正確で、信頼できる結果を保障します。