中古 KLA / TENCOR es20xp #293592548 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
ID: 293592548
E-Beam inspection system, parts machine
Chamber
Robot
(2) Load ports missing.
KLA/TENCOR es20xpは、今日の光学リソグラフィ業界の厳しいマスクおよびウェーハ欠陥検出要件を満たすように特別に設計された高性能マスクおよびウェーハ検査装置です。KLA ES20 XPは、ウェーハ製造プロセスを高速化し、市場投入までの時間を短縮しながら、高効率、費用対効果、正確な欠陥レビューを提供します。TENCOR ES 20 XPは、独自の三軸スキャンシステムを使用して、デバイスまたは歩留まりの欠陥を引き起こす可能性のある顕微鏡的欠陥を正確に検出および分析します。TENCOR es20xpは、特許取得済みのGENIIイメージングユニットを使用して、マスクまたはウエハのブライトフィールドとダークフィールドの両方のイメージングを実行します。このイメージングマシンは、より大きな解像度と欠陥検出のための高感度を可能にします。ES20 XPはまた、最も完全なマスクとウェーハ欠陥検査のための可変スリットサイズ、可変視野、可変フォーカス、可変コントラストなど、多くの高度な機能を提供します。KLA es20xpは、特許取得済みの自動欠陥分類ツールを使用して欠陥を識別および分類します。欠陥はサイズ、形状、位置、向き、組成に応じて分類されます。さらに、es20xpは、デバイスまたはウェーハの欠陥の最も包括的なビューを提供するために、プロセスブリッジ、ラインブリッジ、およびオープン欠陥を検出することもできます。ES 20 XPは高いスループットで他のシステムと区別され、スキャン速度は毎秒200回までです。さらに、KLA/TENCOR ES20 XPは非常に信頼性が高く、マスクまたはウェーハ上の重要な欠陥サイズを測定する場合には、最大1。5ミクロンの再現可能な測定精度を備えています。驚くべき検査機能に加えて、KLA/TENCOR ES 20 XPは、ユーザーフレンドリーで使いやすいHuman Machine Interface （HMI）を提供し、TENCOR ES20 XP操作を完全に制御します。ユーザーフレンドリーなHMIにより、ユーザーは素早く簡単に資産を設定し、データを確認し、結果を報告することができます。内蔵の統計分析およびレポート機能により、データの簡単なレビューと分析が可能です。KLA ES 20 XPは、マスクおよびウェーハ検査および欠陥レビューのための高度な生産性ソリューションを提供します。高品質と高精度と検査モデルの信頼性を兼ね備えた結果、歩留まりが改善され、プロセスのダウンタイムが短縮され、デバイスメーカーの市場投入までの時間が短縮されます。
まだレビューはありません