中古 KLA / TENCOR / INSPEX TCP 8530M #136451 を販売中

KLA/TENCOR/INSPEX TCP 8530Mは、自動検査プロセスの精度と性能を最大化するために設計されたハイエンドマスクおよびウェハ検査装置です。システムは、ソフトウェア、ハードウェア、光学、および検出器の独自のセットで構成されています。半導体回路マスクやウェハ欠陥検出に活用できる画期的な検査ユニットです。KLA TCP 8530Mマスク・ウェハ検査機は、4つの光学工具構成を用いた高精度な検査を提供し、検査結果の信頼性を向上させるように設計されています。4つのアセット構成には、2ダイアレイ、3ダイアレイ、5ダイアレイ、9ダイアレイが含まれます。各構成は、高精度の目的、スポットパターン、およびレーザースポットイルミネータのセットを利用しています。さらに、このモデルには4-CCDイメージングアレイとデータ処理ユニットが装備されています。TENCOR TCP 8530Mは、高度な画像処理アルゴリズムを使用して欠陥構造を正確に分析します。これらのアルゴリズムは、ランダムノイズによって発生する可能性のある誤検出を排除し、マスクやウェーハイメージの不要な再作業を防ぐことができます。この装置は、複数の回路を含むことができるマスクを検査する際に、半導体回路マスク業界で特に有用です。TCP 8530Mは高速パイプラインアーキテクチャを備えており、モーションコントロールを最小限に抑えて複数の視野を同時に検査することができます。また、傷、細い線などの識別が困難な欠陥も検出できるため、複雑なマスクやウエハ検査に適しています。その他の機能には、高精度のインシデント角度ビューとオペレータ調整可能なフォーカスがあり、位置決めと欠陥の可視性を向上させます。INSPEX TCP 8530Mは、半導体製造プロセスにおけるウェーハの特性評価、最適化、制御に使用するために設計されています。このユニットは、チップデザイナーにとっても理想的な選択肢であり、設計オブジェクトを迅速かつ正確に分析することができます。さらに、溶接欠陥の迅速かつ正確な診断が可能であり、製品の欠陥がないことを保証します。これにより、KLA/TENCOR/INSPEX TCP 8530Mは製造プロセスにおいて不可欠なツールとなります。