中古品 KLA / TENCOR / INSPEX (マスク＆ウェーハ検査) を販売中

KLA Corporation（旧KLA-Tencor）は、半導体産業の高度なプロセス制御および歩留まり管理ソリューションのリーディングメーカーです。INSPEXのマスクおよびウェーハ検査装置は、半導体マスクおよびウェーハの品質と完全性を確保するための包括的で信頼性の高いソリューションを提供します。KLAのINSPEXシステムは、高度な光学技術とアルゴリズムを使用して、マスクとウェーハの欠陥を正確に検出および分類します。これらのユニットは高解像度のイメージング機能を備えており、サンプルの詳細な画像をキャプチャし、データを分析し、異常や欠陥を特定することができます。迅速で信頼性の高い検査結果を提供し、半導体メーカーの歩留まりの向上と生産コストの削減を支援します。KLAによって生成されるアナログの1つは、TPC 8520システムです。高度なリソグラフィープロセスで使用されるクリティカルマスクの高速検査用に設計されています。TPC 8520は優れた欠陥検出感度を提供し、誤検出率を低く維持し、高い検査品質を保証します。もう1つの例は、ウエハ検査用に最適化されたイーグルシステムです。Eagleは、正確かつ高スループットの欠陥検出を提供し、粒子、傷、パターン偏差などのさまざまな欠陥タイプを検出することができます。フロントエンドとバックエンドの両方の半導体プロセスに適しています。EX 3500は、KLAが提供する別のマスク検査システムです。高度なディープウルトラバイオレット（DUV）イメージング技術を搭載し、正確で信頼性の高い欠陥検出と分類を可能にします。EX 3500は、バイナリマスク、埋め込み減衰位相シフトマスク（EAPSM）、交流開口位相シフトマスク（Alt-PSM）など、幅広い種類のマスクを検査することができます。全体として、KLAのINSPEXマスクおよびウェーハ検査機は、半導体メーカーに最先端のソリューションを提供し、製品の品質と信頼性を確保し、歩留まりを改善し、生産コストを削減します。