中古 KLA / TENCOR / INSPEX TCP 8500 #113691 を販売中
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販売された
ID: 113691
ウェーハサイズ: 5"-8"
ヴィンテージ: 1993
scanning tool, up to 8" capable
Currently configured for 5"
Missing the clear cabinet covering the water handling area
De-installed
1993 vintage.
KLA/TENCOR/INSPEX TCP 8500は、半導体加工および試験用に設計された最先端のマスクおよびウェーハ検査装置です。このシステムは、生産、製造後、研究開発(R&D)で使用されるウェーハやマスクのさまざまな欠陥を検出することができます。このユニットには、大判イメージングチャンバーと高解像度のデジタルイメージング機能が装備されています。これにより、80nm(ナノメートル)の小さな欠陥や重要な機能を検出することができます。フォトマスク、ウェーハ、液晶、フィルムなど様々な基板の検査が可能です。KLA TCP 8500ツールには、イメージングステーション、検出ユニット、アセットコントローラを含む3つの主要コンポーネントが装備されています。イメージングステーションは、多数の画像を収集・分析できる高解像度のデジタルイメージングデバイスです。検出ユニットは、検査中の基板の欠陥や欠陥を検出するために使用されます。特許取得済みの2Dイメージングモデルを使用して、サブミクロメータの欠陥を検出します。装置コントローラは、イメージングステーションと検出ユニットの間で渡される情報と指示を管理するために使用されます。TENCOR TCP 8500システムは、イメージング機能に加えて、高度なエラー分析およびレポート機能を提供します。このユニットには多数のインテリジェント欠陥エンジンが装備されており、これまで以上に迅速かつ正確にウェーハとマスクを分析することができます。イメージングと分析機能の強力な組み合わせにより、このマシンは迅速かつ正確なマスクおよびウェーハ検査に最適です。TCP 8500ツールには、機密データや材料を保護するためのさまざまなセキュリティ機能も装備されています。これらの機能には、マスクされたデータの暗号化と、アクセス制限付きの安全なWebベースのアクセスポータルが含まれます。これらの機能により、許可されたユーザーだけが資産と保有するデータにアクセスできるようになります。全体として、INSPEX TCP 8500マスクおよびウェハ検査モデルを使用すると、さまざまな基板を迅速かつ正確に検査および分析できます。デジタルイメージング、画像解析、セキュリティ機能を組み合わせることで、生産、製造後、および研究開発アプリケーションに理想的な選択肢となります。
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